中古 VEECO / DEKTAK Spector #9160719 を販売中

VEECO/DEKTAK Spectorは、高精度の表面プロファイリング用に設計されたスパッタリング装置です。X線表面反射計（XSR）と光干渉エンコーダ（OIE）を組み合わせて基板の表面特性を測定します。VEECO Spectorシステムは、陰極スパッタリング蒸着プロセスを利用して、サンプル上に堆積物の層を形成します。XSR技術により、表面トポロジを正確に決定し、OIEにより表面粗さを測定できます。XSR技術は、X線源からサンプル表面にX線が投影されることを含みます。反射された放射線はX線検出器によって受信され、サンプルのトポロジーを決定するために分析されます。OIEエンコーダは同様に動作しますが、X線の放射に限定されるのではなく、任意の光源を使用することができます。OIEは、光を2つのビームに分割して試料表面から反射する干渉技術を利用しています。反射ビームの違いは、表面プロファイルを正確に検出するために使用されます。DEKTAK Spectorスパッタユニットには、工具設定を制御するためのリモートバキュームマシン、圧力モニタ、コンピュータインターフェースが含まれています。リモート真空アセットは、チャンバー内の真空を維持する責任があり、1。0 mbarから1e-8 mbarまでのセットポイントに到達するようにプログラムすることができます。圧力モニターはチャンバー内の圧力を測定し、圧力が設定された限界に達したときにアラームを送信します。コンピュータインターフェースは、スパッタリング源の電源、蒸着速度、基板回転、およびその他のパラメータを制御するために使用されます。Spector sputterモデルは、金属堆積物、酸化物、薄膜、スパッタ酸化物、ナノ構造など、さまざまな材料沈着、表面改質、解析用途に使用されます。それはメモリおよび電子工学の企業で広く利用され、精密な層の制御および均等性を可能にします。VEECO/DEKTAK Spectorスパッタ装置は、内部の成長率を監視するだけでなく、堆積物の構造特性を分析するためにも使用できます。結論として、VEECO Spectorスパッタシステムは、高度な表面プロファイルと材料沈着ユニットです。XSR技術を応用した表面トポロジ測定、表面粗さ測定にOIEを採用しており、様々な材料成膜、表面改質、解析用途に使用されています。機械はメモリおよび電子工学の企業で広く利用され、精密な層の制御および均等性を可能にします。