中古 VEECO / DEKTAK Spector #9095769 を販売中

VEECO/DEKTAK Spectorは、薄膜を表面に堆積させるために使用されるスパッタ装置です。半導体、フラットパネル、ディスプレイ、光学製造など、さまざまな業界の用途の要件を満たすように設計された高性能コーティングシステムです。このユニットは、物理蒸着技術に基づいており、基材に薄膜を高速で均一かつ正確に蒸着することができます。これは、統合ベースモジュール、プロセスチャンバー、高精度の基板ステージ、および統合プロセスコントロールマシンで構成されています。プロセスチャンバーには、バッチチャンバーと外部ソースの2つのプロセスソースが付属しており、さまざまな堆積技術を可能にします。このツールは、直径13インチの総作業面積と500°Cまでの温度範囲で、最大4"サイズの材料を処理するように設計されています。これにより、金属、導体、誘電体、抵抗を含む幅広い材料の堆積が可能になります。このアセットには、リニアレスで反復可能なXYZモーションステージ、デュアルサイドの完全自動ウェハハンドリングモデル、および特許取得済みのVisionPlus™ 7-CAD Webカメラ機器などの精密オートメーション機能が装備されています。これにより、基板の信頼性の高い動作、位置、向き、アライメント、および精度が可能になります。VisionPlus™システムは、プロセスの包括的なグラフィカルな概要を提供し、ユーザーはプロセスを詳細に監視することができます。このユニットはまた、リアルタイムの材料特性評価のためのEDX品質管理マシンを提供します。このツールは、高性能な電子材料および/または光学材料用の薄膜の合成、産業用基板の保護または装飾コーティングの堆積など、さまざまな用途に使用できます。VEECO Spectorアセットは、多くの種類の業界アプリケーション向けに薄膜を製造するための信頼性と費用対効果の高いツールです。