中古 VEECO / IONTECH Spector #96855 を販売中

VEECO/IONTECH Spectorは、幅広い用途向けに設計された特殊なスパッタ装置で、物理蒸着（PVD）プロセスを通じて基板上の高品質なコーティングを実現します。このシステムは、高出力アーク源のためにユニークであり、標準的で複雑で繊細な基板を容易に処理することができます。VEECO Spectorは、基板加工用の中央チャンバーと、ソース処理用の2つのチャンバーを備えたマルチチャンバーユニットです。各チャンバーには、イオンソース、デポジット転送メカニズム、精密モーションステージのセットなど、独自のコンポーネントがあります。中央のチャンバーはコーティング中に基板を保持し、2つのサイドチャンバーにはスパッタリングプロセスに必要なソースが含まれています。IONTECH Spectorマシンで使用されるイオンソースは、強力で高効率です。これらの源は、プロセスガスをイオン化し、ターゲット材料の分子結合を破壊するエネルギーに加速し、その粒子を基板上にスパッタリングします。堆積物の移動機構は、粒子が基板全体に均等に分布することを保証しますが、精密な運動段は、堆積速度を高め、膜厚変動を最小限に抑えることにより、沈着速度を向上させます。また、3軸モーションコントロール、温度制御、クローズドループのガス供給資産など、高度な制御オプションも備えています。これらの高度な機能により、表面アモルフィングパターンなどの複雑な基板を正確に加工することができます。さらに、アルミニウム、タングステン、チタン、モリブデンなどの材料は、すべてVEECO/IONTECHスペクター装置で使用することができます。信頼できる最終結果のために、VEECO Spectorシステムは完全に保護されており、周囲およびプロセスのガス温度制御だけでなく、圧力安定性とRFシールドも提供します。さらに、このユニットは自動診断、ステータス通知、自己整列カートリッジを提供し、最大のパフォーマンスを実現します。全体として、IONTECH Spectorは、高品質のコーティングとフィルムを製造できる高性能スパッタリングマシンです。効率的なイオン源、自動化された機能、環境制御により、Spectorは多くの産業、医療、研究アプリケーションに最適です。