中古 VARIAN / NOVELLUS M2i #9213819 を販売中

VARIAN/NOVELLUS M2iは、大気圧の物理蒸着（PVD）プロセス用に設計されたスパッタリング装置です。多種多様なスパッタリングターゲットと蒸着源を活用し、幅広い用途で薄膜を製造する汎用性の高いコンパクトなシステムです。ユニットのコンポーネントは、蒸着スループット、歩留まり、およびプロセスの一貫性を最大化するように設計されています。これは、2つのターゲットバンクとデュアルマグネトロンスパッタリングマシンを備えており、同時およびシーケンシャルスパッタ蒸着を可能にします。このツールは、材料成膜の柔軟性のために設計されており、さまざまなターゲット材料とスパッタリングモードが利用可能です。アセットの電源は、スパッタリングターゲットに25+kWの電力を供給することができ、優れたプロセス制御を可能にします。統合されたコントローラーに改善されたスパッタの沈殿のための調節可能な部屋圧力があります。特許取得済みのデュアルマグネトロンスパッタリングモデルは、イオンアシスト蒸着（IAD）および広範囲の陰極スパッタリングモードでの動作を可能にします。また、フィルム制御とプロセスモニタリングも自動化されています。これにより、プロセスは最小限の欠陥とプロセス偏差のために最適化されます。その他の特徴として、ターボポンプと再循環クーラントシステムがあり、チャンバーの汚染を防ぎます。VARIAN M2iは、高い蒸着速度のアプリケーションに最適なソリューションです。プロセスは迅速かつ正確に実装することができ、統合された発熱体は低温フィルム蒸着を可能にします。それはPVDの技術的な解決のベストを提供する上限の単位です。