中古 VARIAN / NOVELLUS M2i #9133229 を販売中

VARIAN/NOVELLUS M2iは、半導体製造業界の高度な成膜アプリケーションに最適な最先端スパッタリング装置です。VARIAN M2iは、最も要求の厳しい製品に対して、最高の導電性、エレクトロマイグレーション、および寿命要件に対して正確で信頼性の高い性能を提供します。NOVELLUS M2iは、低抵抗構造を生成する独自のアルミ化プロセスを備えており、より高度なデバイス設計を可能にし、消費電力を最小限に抑えます。M2iの特許取得済みの高速スパッタ蒸着モジュールは、システムの重要なコンポーネントであり、比類のないスループットを提供します。反応剤の割合を制御することで、特定の反応プロセスを正確にオン/オフして、超薄い導電膜を作成できます。また、VARIAN MBX CenterStage™は、正確なスケジューリングとプロセスの監視をサポートする自動コマンドおよび制御マシンです。このCenterStage™により、基板のずれ、スパッタ沈着率、ターゲット特性などをリアルタイムで検出し、歩留まり損失を最小限に抑え、スループットを向上させることができます。VARIAN/NOVELLUS M2iは、シームレスな自己診断とリカバリによって電力の中断や障害から保護する信頼性の高いデータ復旧機能も提供します。さらに、VARIAN M2iスパッタリングツールは、チャンバーを清潔に保ち、汚染物質から解放するセルフクリーニング機能を備えています。これにより、エンドユース製品の品質が向上し、長期的にはパフォーマンスが向上します。NOVELLUS M2iスパッタリングツールは、導電性、エレクトロマイグレーション、および消費電力に対する厳しい要件を満たすことができる高度で信頼性の高い高速蒸着アセットを探している半導体メーカーにとって優れた選択肢です。独自のアルミ化プロセス、高速蒸着速度、自動コマンドおよび制御モデルにより、高度な蒸着アプリケーションに理想的なスパッタリングツールとなります。