中古 VARIAN / NOVELLUS M2i #9106398 を販売中

VARIAN/NOVELLUS M2iは、高生産性、厚膜蒸着アプリケーション向けの堅牢な性能を提供するハイエンドスパッタリング装置です。VARIAN M2iは、導体、誘電体、金属酸化物などの幅広い膜を堆積することができます。大量生産のために設計されており、所有コストが低いため、ラボや生産施設にスパッタリング機能を追加したい人には魅力的な選択肢です。NOVELLUS M2iには、2インチのマグネトロンスパッタリングシステムが搭載されており、成膜プロセスへの浅いアプローチと深いアプローチの両方を可能にします。デュアル出力を備えたシングルソースユニットを備え、最大6kWの電力をフィルム蒸着に利用できます。このソースは、堆積環境が変化しても一貫した堆積レベルを提供するように設計されています。この機械はまた、高い蒸着速度のために設計されており、おおよそ16-20 nm/minレートを提供します。M2iは、フィルムの地形、カバレッジ、均一性を正確に制御して厚いフィルム層を生成することができます。それは非常に信頼性が高く、ツールのソフトウェアは簡単な操作とメンテナンスを可能にするように設計されています。アセットは手動モードまたは自動モードで操作でき、ユーザーに高い柔軟性を提供します。さらに、VARIAN/NOVELLUS M2iには、不測の事態から材料を保護するための緊急発電機が装備されています。VARIAN M2iは、信頼性の高い反復可能な結果を持つ厚膜層を生成するために探している人のための貴重なツールです。その堅牢な性能と低所有コストを兼ね備えたNOVELLUS M2i、あらゆるラボや生産施設にとって非常に魅力的なオプションです。