中古 VARIAN / NOVELLUS M2i #9027015 を販売中

VARIAN/NOVELLUS M2iは、材料沈着や薄膜加工に使用されるスパッタ装置です。このシステムはモジュール性を念頭に置いて設計されており、さまざまなコンポーネントでスパッタユニットを構成する機能を提供します。VARIAN M2iは、真空加工チャンバーとスパッタ陰極アセンブリの2つの主要コンポーネントで構成されています。VARIAN/NVELLUS NOVELLUS M2iの真空処理チャンバーは、ガスタイト、真空タイトシールを備えたステンレス鋼で構成され、スパッタリング処理がクリーンで高真空環境で行われることを保証します。このチャンバーには、ターボポンプ機能、デジタル温度検出および測定機、不活性ガス導入ツール、およびコンピュータ制御監視および制御資産が装備されています。M2iのスパッタ陰極アセンブリは、材料の薄い層を基板に堆積させるために、高エネルギー粒子を排出する責任があります。スパッタ陰極アセンブリは、アノード、るつぼホルダー、およびプラズマを制御および維持するモジュールで構成されています。アセンブリの制御および監視コンポーネントには、直流（DC）バイアスと一貫した蒸着速度を保証するAutoEqualizerモジュールが含まれます。VARIAN/NOVELLUS M2iには、電子エネルギーモニター（EEM）や蒸着速度モニター（DRM）などの追加アプリケーションもあります。EEMはスパッタプロセス中のインシデント粒子のエネルギーを監視し、DRMは蒸着速度を監視します。これらの両方の機能は、スパッタプロセスを設定し、所望の結果が達成されることを確実にするための情報に基づいて制御された方法をユーザーに提供します。全体として、VARIAN M2iは、材料沈着および薄膜加工用に構築された高度なスパッタリングモデルです。これは費用対効果が高く信頼性の高いソリューションであり、ユーザーに望ましいスパッタプロセス結果を得るための簡単で効率的な方法を提供します。装置は強力な制御と監視オプションを備えた堅牢なコンポーネントで構成されており、すべてが高真空環境にあり、正確かつ最適化された蒸着速度を保証します。