中古 VARIAN 3290 STQ #9134775 を販売中

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ID: 9134775
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6" Entity target configuration: Process station #2: ALSICU Process station cathode configuration: Station #2: Quantum(Ratating magnet) Heater configuration: Heater type (All Station): DC BIAS Heater controller(AII station): Eurotherm 808 x 1, Eurotherm 3508 x 2 Power supply configuration: Outer PSU station #2: AE PINNACLE 12 KW Outer PSU station #3: AE PINNACLE 12 KW Outer PSU station #4: AE PINNACLE 12 KW System vacuum configuration: Compressor: Model 9600 8R Cryo pump: Yes Water pump: No Software configuration: User's guide: ECS 3000 Version: 96.204.10U1 Floppy drive: 3.5" Double cassette loading: Yes.
VARIAN 3290 STQは、薄膜蒸着用途向けに設計された高性能スパッタリング装置です。このシステムは、プロセス部品を使用して、材料を磁気爆撃して基板に堆積させ、基板全体にわたって正確な層の厚さと正確な均一性を備えています。VARIAN 3290STQユニットには、さまざまな金属、誘電体、およびその他の材料の薄膜を作成するように設計されたさまざまなコンポーネントが含まれています。3290 STQは、品質の真空環境を作成するために設計された楕円形の真空チャンバーを含みます。この部屋はステンレス鋼から成り、Oリングを使用して密封され、いろいろなビューポートおよび診断が装備されています。機械内部には2つの高圧非対称マグネトロンがあり、材料を基板にスパッタするために使用されます。マグネトロンは、基板の侵食を最小限に抑えて高いスパッタレートを提供することができます。このツールには2つの基板ホルダーも含まれており、複数の基板に一度に安全に配置してスパッタすることができます。フィルムの厚さを正確に制御するために、3290STQは自動フィルムの厚さのコントローラーを含んでいます。このコントローラは、スパッタ蒸着速度を監視および制御するように設計されており、基板全体の均一性を確保します。この資産にはコンピュータコントローラも含まれており、ユーザーは自分の堆積レシピをプログラムして将来使用するために保存することができます。このコントローラにより、成膜中のプロセスの監視と調整が容易になり、成膜データの詳細なログを維持できます。VARIAN 3290 STQモデルには、中断沈着監視やガス漏れ検出器など、いくつかの安全機能が装備されています。中断された蒸着コントローラは、フィルム蒸着プロセスが中断または中断された場合に自動的に装置をシャットダウンするように設計されており、システムと基板への損傷を防ぎます。ガス漏れ検出器は、ユニット内のコンポーネントからの潜在的な漏れを検出し、ユーザーに警告するように設計されており、真空チャンバーが密封されたままで漏れないようにしています。VARIAN 3290STQ機は、さまざまな基板に高品質の薄膜を堆積するように設計された、汎用性と信頼性の高いスパッタリングツールです。このアセットは、フラットパネルディスプレイ、薄膜トランジスタ、光電子デバイス、MEMSデバイスなど、多くのアプリケーションに適しています。高度な安全機能と精密なプロセス制御を備えた3290 STQは、高品質の薄膜を作成しようとする研究者やメーカーにとって理想的なツールです。
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