中古 VARIAN 3290 STQ #9257988 を販売中

VARIAN 3290 STQは、さまざまな材料の超薄膜を多様な基板に堆積させるために使用される高度なスパッタリング装置です。このシステムは直流（DC）スパッタリングプロセスを使用して、フィルムの蒸着速度、厚さ、組成を正確に制御します。VARIAN 3290STQ内のスパッタリング処理は、通常専用のターボ分子ポンプを使用して、高周波の低圧ガスをチャンバーに導入することから始まります。次に、基板とスパッタ源にDC電圧を印加することで、ガス中のイオンを生成する電界を生じます。エネルギーイオンはスパッタターゲットに向かって加速され、材料が表面から放出されます。スパッタされた原子は基質に堆積し、薄膜を形成する。3290 STQはスパッタリングプロセスを完全に制御します。ユニットの電圧、電力、ガスの流れをリアルタイムで調整し、最適な蒸着を保証します。例えば、より高い電圧は、多くの場合、フィルムの蒸着速度を増加させますが、より低い電圧を使用してより均一なフィルムを作成することができます。また、複数のターゲットを同時に連続的にデポジットすることで、カスタマイズされた特性を持つ複雑なマルチレイヤーフィルムを作成できます。3290STQは完全に自動化されるように設計されています。クローズドループ制御システムは、サーボ制御マグネットとソースとともに、基板全体に均一なフィルム成膜を保証します。さらに、このツールの高度なデータ収集システムは、成膜速度と成分の正確な特性評価を可能にし、アーカイブ用のデータを保存することができます。全体として、VARIAN 3290 STQは信頼性が高く、費用対効果の高いスパッタリング資産であり、超薄膜の成膜に高度な可能性を提供します。自動化されたプロセス制御および精密監視の多目的な設計は、良質、一貫したフィルムの沈殿を毎回保障します。