中古 VARIAN 3290 #9125838 を販売中

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VARIAN 3290
販売された
製造業者
VARIAN
モデル
3290
ID: 9125838
ヴィンテージ: 1988
Sputtering system, 1988 vintage.
VARIAN 3290スパッタリング装置は、株式会社VARIANが開発したハイエンド物理蒸着(PVD)技術製品です。金属や半導体から酸化物、窒化物、ポリマーまで、さまざまな薄膜を堆積するように設計されています。この汎用性の高いスパッタリングツールは、薄膜厚化や光学コーティングからマイクロエレクトロニクスまで、さまざまな用途に最適です。3290スパッタリングシステムは、幅広い要件に対応する高度で信頼性の高いプラットフォームを提供します。このユニットには、高性能プロセスチャンバー、タレット構成、モジュラー荷重ロックを組み合わせたシールド設計が装備されています。このユニークな機能により、実験やプロセスでは、アプリケーションごとに異なるカセット方向、ターゲット位置、ジオメトリが必要になるため、柔軟性が向上します。機械はまたプロセスガス、力、部屋圧力、ターボ分子ポンプ速度および真空の出口の独立した制御を含む優秀なプロセス制御を、提供します。このツールは、さまざまな特殊アプリケーションを処理するように設計された幅広い機能で構成されています。マルチターゲット機能を備え、2つの異なる材料を同時にスパッタすることができます。このアセットは、円形、長方形、正方形、ダイヤモンド形状など、さまざまな形状の大きな基板を効率的に実行することもできます。これにより、材料の蒸着プロセスが可能な限り正確であり、最終結果が一貫して再現可能であることが保証されます。さらに、VARIAN 3290スパッタリングモデルは、高性能なジオメトリ制御装置と、純金属、合金、セラミック酸化物などの様々な材料で作られた高品質の陰極による均一な蒸着を可能にします。さらに、この高度なスパッタリングシステムは、ユーザーフレンドリーなユニット操作、メンテナンス、診断、プログラミング、レシピ開発のための包括的なインターフェースを提供します。この最適化されたインターフェイスは、マシンを直感的にし、最終的にはユーザーの学習曲線を減らします。ユーザーフレンドリーな機能は、目標温度、アルゴンガス圧力、および組成の設定を制御することから、データのリアルタイム監視までさまざまです。これらの革新的な機能のすべては、3290スパッタリングツールを物理蒸着プロセスから高品質で信頼性の高い結果を達成するための素晴らしい選択肢にします。
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