中古 VARIAN 3290 #9121542 を販売中

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製造業者
VARIAN
モデル
3290
ID: 9121542
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6" (TiW, AlCu, AlCu, hard etch), 150mm, p/n 983-4353, 480V, 22A, 3ph, 60Hz, CTI-Cryogenics On-Board 8 cryopump V200-A turbopump; V200 turbopump (2ea) MKS 250B controller Fluke 1722A instrument controller Fluke 8840A multimeter Wide range thin film monitor SW Version 2.2 Sputtering power supply Vacuum system controller 880RS vacuum ionization gauge RF matching controller Cassette motor control Temp monitor Dual CTI-Cryogenics On-Board controller Pfeiffer DCU controller MKS vacuum controller Multi-range DC sputtering power supply (2ea) interlock status display (2ea) deposition source control RFPP RF10S RF generator (3ea) CPI CPW-12/480 power supply Includes OneAC power transformer/conditioner.
VARIAN 3290スパッタリング装置は、精度、信頼性、コスト削減を実現するフレキシブルな角形反応スパッタリングツールです。このシステムは、ガラス、セラミック、プラスチック、金属など、あらゆる材料の基板にさまざまな形状とサイズでスパッタ蒸着することができます。このユニットは、生産歩留まりと品質保証を制御するために使用できる光学品質の結果を提供します。3290はあらゆるプロセス条件に適するために円形、平ら、円錐形および多軸構成を含む注文のスパッタリングのプラテンのフルラインを特色にします。このマシンには、特定の基板での使用に特化した金のような独自のターゲットも含まれています。VARIAN 3290は、堅牢なプロセス制御も提供します。カスタムプログラマブルコントローラは、スパッタの深さ、層の厚さ、均一性を精密に制御します。統合されたデータ収集ツールは、プロセス監視を可能にし、結果の詳細な報告を可能にします。アセットは、安全インターロックモデル、電源シャットオフスイッチ、緊急停止などの高度な安全機能を備えています。これらの機能は、安全な操作を保証し、ワークフロー中の危険のリスクを低減します。この装置はユーザーフレンドリーで、実験室や生産環境にも適しています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアは、複雑なスパッタリングプロセスパラメータのカスタムレシピを提供し、オペレータがプロセス条件を簡単に設定および維持できるようにします。このシステムは高度にカスタマイズ可能であり、より広いカバレッジ領域、より高い電力密度、およびあらゆる生産要件に合わせた他の多くの改善を提供するためにアップグレードすることができます。また、当社独自のスパッタリングコントロールユニットなど、最新のスパッタリング技術のほとんどと互換性があり、正確なプロセス制御が可能です。3290は信頼でき、費用効果が大きいスパッタリング機械です。優れたプロセスオートメーションと高度な安全機能を備えているため、研究および生産アプリケーションの両方に適しています。広範なカスタマイズ性と最先端のスパッタリング技術により、このツールはさまざまなスパッタ蒸着パラメータを正確に制御できます。
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