中古 VARIAN 3290 #151223 を販売中

VARIAN 3290スパッタリング装置は、さまざまな薄膜を基板に堆積させるために使用できる汎用性の高い成膜ツールです。このシステムは、真空ポンプ、コントローラ、電源を収容する本体と、多数のターゲット材料とターゲットで構成されています。3290は、堅牢なRF電源とDCバイアスを使用して、真空チャンバー内にある最大4つの磁石に電力を供給します。磁石はスパッタされた材料を基板に閉じ込めるために使用され、均一で反復可能な堆積を可能にします。さらに、VARIAN 3290には、さまざまな材料や用途の磁場を微調整する調整ノブが含まれています。3290は統合されたスパッタリングユニットで、双方向フィードバック制御用の水晶モニターも装備されています。このモニターは、ターゲットに供給される電力と比較して堆積膜の厚さを測定し、正確な厚さを維持します。また、ロードロックを採用し、真空チャンバを新しい基板で安全に開閉・再装填することで、工具汚染を低減しています。VARIAN 3290は、幅広い金属材料やセラミック材料をさまざまな基板にスパッタする機能を備えています。それはアルミニウム、チタニウム、金および銀を含むターゲット材料の範囲の平らな、曲げられた基質両方にスパッタできます。アセットは、アプリケーションに応じて、さまざまなアルゴンガスを使用することもできます。全体的に3290スパッタリングモデルは、さまざまな用途に最適な薄膜成膜ツールです。これは、追加のコンポーネントを必要とせずに正確なフィルム成長を可能にし、複数の磁石設計は均一で反復可能な堆積を可能にします。さらに、装置は直感的で使いやすく、簡単な制御と調整可能な磁場を備えています。最後に、異なる基板、アルゴンガス、ターゲット材料を利用することができるため、さまざまな薄膜蒸着目的に適しています。