中古 VARIAN 3290 STQ #9294608 を販売中

VARIAN 3290 STQは、薄膜蒸着プロセス用に設計されたスパッタリング装置です。これは、最大4つのマグネトロンスパッタリング電極と最大4つの平面RF/DCまたはDCマグネトロンを提供する垂直システムです。VARIAN 3290STQユニットは、イオンアシスト成膜（IAD）、反応スパッタリング、その他の薄膜成膜技術など、さまざまな薄膜成膜プロセスを実行することができます。チャンバーサイズを大きくすることで、より大きな基板をサポートできます。3290 STQは直感的で人間工学に基づいたユーザーインターフェイスで便利に設計されています。操作を容易にするためのシンプルでユーザーフレンドリーなデザインを提供し、機能と操作を強化するための高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。その真空機械は5x10-7 Torrの最大作動圧力を備えており、ポンプダウンタイムは短いサイクル時間に最適化されています。すぐにチャンバーをポンピングするための統合教育者も含まれています。3290STQツールはまた、望ましい目標温度を迅速に達成するために高い基板加熱率を備えています。独立した2つのゾーン、4kW RF/DC電源を備えており、高性能な薄膜蒸着のための精密制御と正確な均一性を可能にします。さらに、周波数アジャイル機能は、高度なアプリケーションにさらなる制御と柔軟性を提供します。このアセットには、処理オプション用の高度な圧力制御モデル（PCS）も搭載されています。この内蔵PCS技術により、正確で再現性のある圧力制御プロセスが保証されます。ハイエンドのプロセス、またはカスタムプログラマブルなレシピのサイクル再現性を可能にし、一貫した生産性の高い結果を保証します。PCSはまた、不活性または反応性のガス混合能力を可能にし、堆積パラメータをさらに制御します。VARIAN 3290 STQには遠隔監視装置もあります。このシステムは、ユニットの状態、温度測定値、消費電流、およびその他の運用データを表示するために使用できます。内蔵のイーサネットポートにより、ユーザーのリモート監視マシンを簡単に統合できます。ツールのセキュリティプロトコルも高度に構成可能で、個々のユーザーまたはアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズできます。結論として、VARIAN 3290STQは、要求の厳しい薄膜蒸着プロセス用に設計された汎用性の高い資産です。内蔵の機能により、精密な制御と再現性の高い結果が得られます。直感的なユーザーインターフェイスとプログラム可能なレシピにより、使いやすくなります。Ethernetポートによりリモート監視機能が可能になり、高度なPCSテクノロジーにより正確さと一貫した生産時間が保証されます。