中古 VARIAN 3290 STQ #9180896 を販売中

VARIAN 3290 STQは、株式会社VARIANが製造するスパッタリング装置です。様々な用途で均一な薄膜を作ることができる高性能マグネトロンスパッタ蒸着システムです。VARIAN 3290STQは、基板全体にわたって厳密に制御された均一性と電力を提供する3つのキューボイド型、高出力、マグネトロン源を備えており、ユニットには最大3つのプロセスチャンバー、または「モジュール」を装備して、さまざまな同時処理タスクを処理できます。3290 STQのモジュラー設計により、ウェーハサイズ、基板厚、ターゲット材料の特別な要件に対応する複数の構成を作成できます。クローズドループのプロセス制御により、幅広い条件下で精密な堆積レベル、均一性、再現性を提供します。3290STQに各モジュールの独立した制御が付いている高分解能の容量manometer圧力制御機械があります。また、プログラマブルコントローラが装備されているため、ユーザーは最大12種類のスパッタプロセスのレシピを作成して保存することができます。VARIAN 3290 STQの高速動作高さは40〜270 mmで、最大60 kgのプロセス負荷を可能にします。自動アーク管理資産、デュアルインターロックモデル、独立した緊急シャットオフ、保護アルミニウムシールドなど、さまざまな高度な安全機能を備えた堅牢なツールです。また、すべての機器プロセスを完全に制御するためのタッチスクリーンEパネルを備えています。VARIAN 3290STQは汎用性が高く、薄膜成膜、合金めっき、精密エッチング、マグネトロンスパッタリング、反応イオンエッチングなど、さまざまなプロセスに使用できます。オプトエレクトロニクス、データストレージ、マイクロエレクトロニクス、エネルギー貯蔵など、幅広い用途に適しています。優れた性能、優れた機能、ユーザーフレンドリーな操作性を備えた3290 STQは、高性能スパッタリングシステムに人気のある選択肢です。