中古 VARIAN 3290 STQ #9134776 を販売中

VARIAN 3290 STQスパッタリング装置は、材料を基板に堆積して塗布するために使用される精密蒸着装置です。高レートと低温の両方のスパッタリングを提供するように設計されており、同じウエハ上に異なる材料を持つ層ごとの構造の堆積を可能にします。パワーと圧力パラメータの特許取得済みのVersareg™制御により、システムは究極の精度と蒸着精度を提供します。ユニット内部のステンレスチャンバーは、フラットサンプルホルダー上の複数の基板に対応するように設計されています。このチャンバーには不活性なバックフィルガスオプションがあり、スパッタリング用の高度な高出力13。56MHz RFジェネレータが装備されています。また、サンプルの迅速な積み下ろしを可能にするコンポーネントも装備しています。VARIAN 3290STQはまた、高速および低温スパッタ機能を備えています。高レートスパッタリングモードは、最大34 eVの運動エネルギーを達成することができ、材料の堆積が高い速度で発生することができます。これにより、異なる特性を持つ材料の層用堆積も可能になります。低温スパッタリングモードにより、汚染物質の低減と低質量スパッタリングが可能です。このモードを使用すると、通常、ターゲット角度の高い、セルフスパッタリングなどの高性能率に関連するスパッタリングパラメータが可能になります。3290 STQスパッタリングマシンは、洗練された圧力フィードバックと船舶制御技術で構築されています。この技術は、スパッタ操作中に再現性と信頼性の高い圧力と真空制御を保証します。PFCを搭載したツールでは、可変圧力操作を利用することができ、パルス操作や可変圧力制御を通じてイオン/ニュートラル比を最大化することができます。3290STQはさらに、高度なプロセス監視および制御システムを備えています。これらのシステムを使用すると、プロセス監視機能を使用して、すべてのスパッタリング操作を調整および管理できます。プロセス監視ツールには、温度制御システム、イオン化インプラント検出器、データロギングおよび分析システム、およびユーザーが沈着プロセスを監視できるその他の制御資産ツールが含まれます。また、最新の高度なモデルソフトウェアにより、ゴールドスタンダードの精度を実現しています。要約すると、VARIAN 3290 STQスパッタリング装置の性能は、積載、堆積、アンロードおよびプロセス制御/監視操作における最高の精度と精度を保証します。これにより、VARIAN 3290STQは、高度なスパッタリング操作と基板上の材料の沈着およびコーティングに最適なシステムです。