中古 VARIAN 3280 #9148915 を販売中

VARIAN 3280は、製造グレードの半導体加工装置のメーカーであるVARIAN Semiconductor Equipmentが製造したスパッタ装置です。このスパッタリングシステムは、さまざまなアプリケーションに適しており、低および大容量のプログラムに適しています。3280は最大3,900ワットで動作するハイパワーユニットです。メインジェネレータ電源で駆動するシングルエンド発電機を使用し、電源を設定して安定したDC出力を提供します。基板サイズは幅広く、多層加工も可能です。このツールは信頼性が高く、メンテナンスを最小限に抑えます。VARIAN 3280のスパッタリングターゲット材料は、通常、コーティングされたチタングステンまたはモリブデンであり、直接添付方法で基板に取り付けることができます。高い電流密度を維持し、ユーザーが必要に応じて増減することができます。基板実装アセットは、2つのステンレス鋼ステージと1つの静電クランプで構成されており、特定のアプリケーション要件のニーズに応じて簡単に構成することができます。ユニット全体は、最大10-6 Torrの容量を持つ真空チャンバー内に囲まれています。単位の温度はスパッタリングに使用することができる非常に反応性の高い金属のために適している520°Cの最低で維持されます。全単位はパルス力操作を含むさまざまな設定のために作動し易く、プログラム可能です。ユーザーインターフェイスは非常にインタラクティブで、ユーザーはスパッタリングプロセスの状態を簡単に監視し、繰り返し可能な結果を得るためのパラメータを設定することができます。全体的に3280は、さまざまな用途に適した高品質で信頼性の高いスパッタリングモデルです。信頼性が高く、操作が簡単で、メンテナンスを最小限に抑え、一貫性のある結果を保証します。この装置は、さまざまな材料にわたって堅牢で強力なスパッタ機能を提供し、めっき、コーティング、拡散などのさまざまな用途の薄膜の堆積を可能にします。