中古 VARIAN 3280 #9024315 を販売中

VARIAN 3280は、電子デバイスのコーティングやリソグラフィや医療用のコーティングなど、均一な薄膜を必要とする用途向けに設計された高精度スパッタリング装置です。このシステムは、最大304 x 304ミリメートルの広い領域に金属、絶縁、半導体薄膜を堆積することができます。均一なスパッタ蒸着プロセスにより、全領域にわたって非常に滑らかな表面を提供することができ、特に電気特性および光学特性が膜厚に依存するデバイスに適しています。3280は、厚さと組成が非常に均一な薄膜層を堆積させるために高い物理蒸着圧力を使用します。電動ポジショニングステージによりコーティング位置を正確に制御でき、クローズドループプロセスモニタにより再現性のある結果が得られます。このユニットは、超高真空（UHV）または高圧スパッタチャンバー構成のいずれかで使用できます。VARIAN 3280は高度なユーザーインターフェイスを備えており、特定のスパッタプロセスパラメータをプログラムし、厚さと均一性制御の正確な測定値を得ることができます。また、基板やスパッタリングプロセスをリアルタイムで観察するためのベゼルフリーの表示ウィンドウも備えています。その高性能ガスハンドラ制御は、さまざまなガスの処理を可能にし、チャンバー全体のプロセス安定性を提供します。また、3280は広い温度範囲で動作するため、アニール期間が必要な用途に適しています。これにより、均一なフィルム特性を得るための粒子移動性の向上も可能になります。全体として、VARIAN 3280は強力で信頼性の高いスパッタリングツールで、幅広い基板に優れた成膜均一性、精度、再現性を提供します。その幅広い機能により、最高品質の薄膜やコーティングを必要とするアプリケーションに最適です。