中古 VARIAN 3280 #148076 を販売中

VARIAN 3280は、ハイスループット材料蒸着およびデバイス製造用に設計されたコンテンツ均一スパッタリング装置です。単一のスパッタチャンバーを備えた単銃ユニットで、酸化物、窒化物、ダイヤモンド状の化合物などの金属、誘電体、およびその他の材料の均一な層を堆積させることができます。最大スパッタ速度は180°/分で、他のスパッタリングシステムの最大5倍の高い蒸着速度を実現します。3280は、精密なアライメントと一貫したフィルムの均一性を提供するハイエンドのロボステージ傾斜回転マニピュレータを備えています。このロボットステージにより、ユーザーはパターンデバイスの均一性を確保しながら、広い領域で均一なカバレッジを得ることができます。傾き回転システムは、ピッチ± 25°、ロール± 35°、ヨー180°の最大角度範囲を提供することができ、効率的な基板回転のためにY軸に沿って非常に動的にすることができます。VARIAN 3280ユニットは、N2パージングマシン、ターボポンプ、クライオパネル冷却ツールからなる高速ダイナミック真空ポンプを備えています。これにより、長いサイクルと高速ポンプダウンを可能にし、優れたスループットを提供します。さらに、PLCアセットにより、チャンバ圧力とガス流量の制御と精度を向上させるとともに、温度均一な設定で正確な温度制御のためのPIDフィードバックループを備えています。このモデルは、10〜1〜10 mTorrの範囲の動作圧力でスパッタリングすることができ、標準的なスパッタレートは15〜20°/分です。3280は、窒化チタンや二酸化アルミニウムなどの窒化物や酸化物に特化した材料とともに、アルミニウムやチタンなどの標準的なターゲット材料を含む材料層を堆積するために使用できる幅広いソースを提供しています。これにより、複数のマスキングやシャドウマスクを必要とせずに、基板全体にわたって構成、形態、厚さが均一な層を堆積することができます。最後に、VARIAN 3280は生産性を向上させるためのアップグレードされたモジュールを備えています。これにより、スパッタ材料のレベルと基板上の材料の量を検出し、スパッタリングを繰り返すことができます。また、ソフトウェアベースの遠隔監視システムと高度なパラメータ設定により、堆積プロセスの最適化と生産効率の向上を実現しています。