中古 VARIAN 3190 #9184623 を販売中

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VARIAN 3190
販売された
製造業者
VARIAN
モデル
3190
ID: 9184623
ウェーハサイズ: 5"
Sputtering system, 5" Module: Metal Process: Metal deposition Front-metal (RF +Al +Al +Al).
VARIAN 3190スパッタリング装置は、一貫した高品質とグレードの表面コーティングと薄膜を生成するように設計されたハイスループットPVDシステムです。この単位は精密表面処理を要求するあらゆる適用にとって理想的です。3190は、2チャンバー、デュアルソース真空機を使用しています。プロセスチャンバーは通常、10〜6 mbarの塩基圧力で保持されます。工具の蒸着側は、ロードロックとスパッタ源チャンバで構成され、シャッター制御の抵抗イオンビーム源(RIB)を備えています。RIBにはパルスDCマグネトロンスパッタリング源が含まれており、モジュールのロードとアンロードが可能です。さらに、VARIAN 3190には、堆積物の反応イオンエッチング(RIE)用の高周波、低エネルギーイオン源が装備されています。3190の基質温度は室温から500ºCまで調節可能です。また、処理された表面のガス動的エッチング用の真空制御ガス注入アセットも備えており、モデルの機能をさらに強化します。VARIAN 3190は非常に均一な薄膜を生成できるだけでなく、モジュラー設計により素材の素早い切り替えが可能です。これにより、小さなフットプリント内で正確な再現性と最適化されたスループットを実現できます。さらに、3190にはエンドポイント検出用のin-situ質量分析計が装備されており、スパッタリングプロセスを通じて堆積層が一貫して高品質で一貫していることを保証します。結論として、VARIAN 3190は、超高品質の表面と材料のマイクロ層を生成することができる高度なPVD機器です。そのガス注入システム、RIEソース、およびin-situエンドポイント検出はすべて、プロセスの安定性と再現性の向上に貢献します。
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