中古 VARIAN 3190 #9097088 を販売中

VARIAN 3190は、薄膜成膜用に設計された高性能、低コストのスパッタリング装置です。このシステムは2つの独立したスパッタガンを使用しており、さまざまな基材と互換性があります。3190は0。5 nmから8。0ミクロンの厚さの薄膜を作り出すことができ、優れたフィルムの均一性と優れた再現性を備えています。VARIAN 3190は、優れたプロセス性能を提供する堅牢な機械設計と高度な制御を備えています。基板は回転台に取り付けられ、基板表面に均一な蒸着が可能です。銃の電源は調節可能で、低いインシデントのエネルギー密度および低いデューティ・サイクルを達成することができます。さらに、3190にはオプションのイオン/プラズマ源を装備して、望ましいフィルム特性を提供することができます。また、厚さ測定やリアルタイムウェハマッピングなど、現場でのモニタリングや診断ツールも提供しています。VARIAN 3190は、ユーザーに柔軟性と高精度を提供するプロセス中心のマシンです。人間工学に基づいて設計されたインターフェイスは、ツールの操作を簡素化し、高速化します。このアセットは高度にカスタマイズ可能であり、ユーザーは特定のプロセスの標準的な操作手順を定義することができます。さらに、すべてのパラメータが保存され、将来の使用のために素早く呼び出すことができます。全体的に3190は、さまざまな基板上に高精度の薄膜を堆積させるための理想的なプラットフォームです。このユニットは、信頼性が高く、効率的で費用対効果に優れています。先進的なデザインと幅広い機能を備えたVARIAN 3190は、さまざまな薄膜アプリケーションに最適です。