中古 VARIAN 3180 #9106889 を販売中

VARIAN 3180は、様々な金属やその他の材料でさまざまな基板をコーティングすることができるパルスマグネトロンスパッタリングコーティング装置です。連続DCまたはパルスDCを使用して、レイヤーを非常に高いレートで、場合によっては最大10,000nm/minまで沈殿させます。このシステムはモジュラー構造を備えており、既存の製造ラインとカスタマイズされたユニット構成に容易に統合できます。この機械には3つの標準スパッタリングソース（DCまたはパルス）が装備されており、特殊コーティング用に設計された蒸発器チャンバーが含まれています。また、2つのイオン源、アルゴンプラズマ発生器、およびカスタマイズされた堆積のための2つの余分源があります。さらに、真空蒸着とイオンビームスパッタリングを組み合わせることで、比類のない蒸着特性の精度と制御が可能です。汎用性の高い3180は、金属、ガラス、セラミックス、半導体、有機材料など、さまざまな基板に層を堆積することができます。高性能スパッタリングとコーティング技術を求める組織にとって、費用対効果の高い資産です。高いスループット、フィルム品質、および生産レベルまでのスケーリング能力の組み合わせにより、VARIAN 3180は産業用途に最適です。このモデルは、パワー、パルスレート、パルス周波数、パルス形状、パルス比、スパッタリング持続時間、基板バイアス、カソード電位など、スパッタリングプロセスの高度な機能と高度な制御アルゴリズムを提供します。3180また、プロセスを継続的に監視し、迅速な検証と運用パラメータへの応答を可能にする高度な監視装置を備えています。さらに、VARIAN 3180には、プロセスとユニットの両方を不要なイベントから保護する完全な連結機能を備えた安全システムが装備されています。例えば、電源の不具合が発生すると、安全インターロックが直ちに電源を遮断し、プロセスガスの供給を遮断し、圧力室を大気圧に上昇させます。これらの機能は、オペレータと機械の両方の安全性をマグネトロンのランダム動作から保護します。全体として、3180は、高スループット、信頼性の高い性能、および費用対効果の組み合わせにより、産業研究およびパイロット生産ラインのハイエンド用途に最適なツールです。特定のアプリケーションニーズを満たすアセットを求める組織に最適です。