中古 VARIAN 3180 #9019175 を販売中

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製造業者
VARIAN
モデル
3180
ID: 9019175
ウェーハサイズ: 5"
Sputtering system, 5".
VARIAN 3180は、さまざまな機能と機能を備えた強力なスパッタコーティング装置です。幅広い材料を堆積させ、様々な基板に薄膜を作り出すことができる汎用性の高いツールです。3180はスパッタリングプロセスの最高レベルの均一性と再現性を提供するように設計されています。このシステムには電子ビームガンが装備されており、堆積率を高めるのに役立ち、より迅速な処理時間を可能にします。電子ビームガンはまた、作成される層の均一性を向上させることができます。さらに、ユニットは適応可能に設計されており、さまざまなプロセスパラメータに対応できます。これにより、より複雑な薄膜構造のパラメータを素早く簡単に変更できます。VARIAN 3180は、金属と酸化物の両方をスパッタするために使用でき、多層膜を作成することができます。このマシンは、4インチから6インチのサイズのウェーハを処理でき、最大4インチの厚いハイブリッドおよび強化ガラス基板に対応できます。さらに、このツールは、0。15〜0。25 µm/minまでの堆積率を達成することができます。3180は簡単に調整可能で、スパッタガス圧力、温度、電流などのパラメータを変更できます。また、物理蒸着、高加工圧、マルチターゲット、指向性スパッタリングなど、さまざまなプロセスチャンバーを備えています。これらの機能により、さまざまな薄膜要件に応じてアセットをカスタマイズできます。また、エンドポイントの自動検出やレシピ制御など、多くの自動化機能を備えています。これにより、ユーザーは複雑な堆積プロセスを素早く簡単にプログラムできます。さらに、装置には、プロセスの品質を改善し、修理のための高価なダウンタイムを回避するのに役立つin situクリーニングやその他の診断機能が装備されています。全体的に、VARIAN 3180は、その柔軟性、速度、精度により、スパッタコーティング用途に最適です。幅広いプロセスに対応しており、オートメーション機能により、高品質の薄膜を素早く簡単に製造することができます。
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