中古 VARIAN 3180 #9018131 を販売中

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VARIAN 3180
販売された
製造業者
VARIAN
モデル
3180
ID: 9018131
ウェーハサイズ: 4"
Sputtering systems, 4" Parts machine.
VARIAN 3180スパッタリング装置は、基板上に薄膜の層を作成するために使用される高効率の機器です。このシステムは、エネルギー粒子のビーム、一般的に原子またはイオンで構成される化合物を爆撃することによって機能します。これらの粒子がターゲットに衝突すると、材料はスパッタオフされ、基板上に堆積されます。このプロセスは、半導体の製造、光学コーティングの堆積、およびその他のさまざまなアプリケーションで一般的に使用されます。3180は、クローズドサイクル、3ヘッド強力なRFダイオードスパッタリングユニットです。これは、効率的な薄膜堆積を可能にする多くの有益な機能を備えて設計されています。有機フィルムと無機フィルムの両方に適しており、3つの独立した沈着ヘッドを備えています。3つのヘッドは、結果のフィルムの均質性を確保するために、回転または並列に堆積することができます。力、圧力および電圧のレベルはすべてプロセスを最大にするために沈殿の部屋で調節することができます。VARIAN 3180ツールは、精密なRFシールとガスおよび圧力制御を供給する機能を備えた強化されたプロセス制御も提供します。さらに、洗浄、充電ポイント、マルチステップレシピ制御など、さまざまなメニュー駆動の操作機器機能を備えた洗練されたオートメーションモデルを利用しています。システムの設計は、ターゲットの寿命を延ばすのにも役立ち、ユーザーは生産コストをより大きく制御できます。3180は、そのチャンバー用の特別なスパッタコーティングを備えており、堆積環境に塵が入るのを防ぎ、目標材料の品質を維持するのに役立ちます。安全面では、VARIAN 3180にはさまざまな安全機能が含まれています。ユニットのコンポーネントは、耐火性、電気保護接続、および過電流を防ぐユニークな「アシストモード」である防塵カバーで設計されています。機械にまた欠陥か潜在的な問題を検出するように設計されている広範囲の電気および環境の安全システムがあります。結論として、3180スパッタリングツールは、多くの薄膜蒸着アプリケーションに適した信頼性の高い強力な機器です。効率的な処理、正確な制御、強化された安全性をサポートする多くの有益な機能を提供します。統合されたオートメーション資産、防塵カバー、包括的な安全システムにより、このモデルは、コストとエネルギー消費を削減して優れた生産成果をサポートするように設計されています。
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