中古 VARIAN 3180 #156923 を販売中

VARIAN 3180は、さまざまなユニークな材料加工および成膜用途向けに設計されたスパッタリング装置です。このシステムは、電源1台、電源2台、プロセスチャンバー2台、回転ターゲット2台、各種オプション部品で構成されています。このソースはアークスパッタイオン源であり、高感度でバイアス、異なる圧力範囲、およびより大きな電力レベルを必要とするものを含む導体および非導電材料を堆積することができます。このユニットには、パルス操作、DCまたはAC操作、パルスおよび抵抗基板バイアスを処理する機能もあります。電源は通常モデルと高電圧モデルがあり、それぞれ最大4 kVと25 mAを供給できます。2つのプロセスチャンバーはソースに接続されており、それぞれに圧力制御用の個別のガスラインと、真空、安全、ガス制御用の個別のプロセス接続があります。クロム、炭素、タングステン、その他の材料を中間膜システム、多層層、事実上あらゆる要素の組み合わせで加工および堆積することができます。各チャンバーには、単一の基板または複数の基板を同時に操作する機能があり、バッチまたはインラインモードで使用できます。ターゲットは、2つのプロセスチャンバのそれぞれに設置され、堆積物の均一性を高めるために、独自の軸で回転します。この機械に非常に速いスパッタリング率があり、材料の非常に薄い層を沈殿させることができます。3180 Toolには、水晶モニター、複数のサンプルホルダー、真空関連の測定および制御システムなど、複数の追加オプションがあります。この資産の全体的なスパッタリング速度は非常に多く、非常に薄い層の幅広い種類の材料が達成されています。全体のモデルも非常に使いやすく、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと蒸着プロセス間の切り替えのための柔軟性を備えています。全体的に、VARIAN 3180スパッタリング装置は、幅広い材料の堆積のための堅牢で信頼性の高いプラットフォームを提供します。さまざまな高度な機能により、非常に信頼性が高く、システムをさまざまなミッションクリティカルなアプリケーションに使用できます。