中古 VARIAN 3140 #9113802 を販売中

VARIAN 3140は、さまざまな薄膜成膜および製造プロセス向けに設計されたスパッタリング装置です。複雑で高精度な部品を加工するために特別に作られています。スパッタリングシステムは、効率的な堆積のための平面および回転式マグネトロン源の両方を備えており、多様なプロセス能力を提供します。パルスDCスパッタリング用のリモートチャンバー、反応蒸着用のサーマルプラズマ発生器、効果的な膜厚均一性のための独立したイオン制御、温度に敏感な蒸着用の温度制御基板チャックなど、さまざまな機能を備えています。3140には統合されたユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージも装備されており、オペレータがプロセスパラメータを簡単に監視、制御、最適化するのに役立ちます。制御インタフェースからは、真空圧力、ターゲット電力、プロセス監視データにリアルタイムでアクセスでき、スパッタリング速度、イオン濃度、原子炉温度などのさまざまなパラメータを調整できます。このマシンはまた、プロセス最適化のための手動機能と自動化された機能の両方を備えています。自動化された機能により、ユーザーは膜厚の均一性、再現性、蒸着率を最適化することができ、高品質の部品をコスト効率よく生産できます。高度なソフトウェアとともに、このツールは運用上の安全性を確保するためのさまざまな安全機能も提供しています。その複数のフェイルセーフパワーとモーションモニター、チャンバー過圧保護、ヒーターケーブルとブレイク切断など、安全な動作条件が常に維持されるようにします。VARIAN 3140は、一貫した反復可能な結果を保証するために、高精度のツーリングと真空チャンバーも装備されています。その工具細工は、基板の正確な位置決めを可能にするように設計されており、最適な沈着プロセスを保証します。要約すると、3140は高精度部品加工のために特別に設計された高度なスパッタリングアセットです。さまざまな高度な機能を備えており、高品質の部品の制御最適化とコスト効率の高い生産を可能にします。その安全機能と精密ツーリングは、信頼性の高い操作と反復可能な結果の両方を保証します。