中古 VARIAN 3118 #9081511 を販売中

VARIAN 3118は、金属または誘電体フィルムの高精度成膜のために設計された最先端のスパッタリング装置です。超薄層で400nm/minまでの成膜が可能なパワフルで汎用性の高い工具です。3118は、材料の薄い層と多層の堆積で正確で反復可能な結果を提供するために開発されました。その高度な設計は、複雑な構造でも、優れたスパッタリングの均一性を提供します。VARIAN 3118は、3100シリーズの一部であり、範囲で利用可能な最もフル機能のモデルです。高信頼性とメンテナンスのしやすさで知られています。3118は、高効率カソード点位置制御システムを備えており、正確なターゲットパターンで構造物の堆積を可能にします。また、可変マグネトロンターゲットシャドウ機能を備えているため、スパッタリング性能が向上し、消費電力が削減されます。VARIAN 3118にはユニークなエッチバックユニットも搭載されており、基板の堆積膜をエッチバックして均一性と接着性を向上させます。このエッチバックマシンは、正と負の両方のエッチング電圧コンポーネントを制御することにより、正確なパターン制御を容易にします。スパッタプロセスの制御は、堅牢で直感的なタッチスクリーンユーザーインターフェイスを介して達成されます。この直感的なユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、スパッタパワー、スポット電圧、マグネトロン位置、ターゲットシャドウなどのプロセスパラメータを効率的に制御できます。3118は、優れたスパッタプロセス結果を提供するために、さまざまな強力な機能を提供しています。その高度なデザインは、優れた均一性と再現性を提供し、時間とお金を節約します。VARIAN 3118はまた、複雑な構造に優れた分解能と高い蒸着率を達成する能力を提供し、薄膜蒸着アプリケーションに最適です。