中古 ULVAC ULDIS-900-CHL #9113738 を販売中

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ID: 9113738
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2005
Digital sputtering machine, 8" Capacity: 32 pcs for 1 batch Carousel system: φ900xh700mm 12sides Substrate holder: w208mmxL700mmx t12mm (12) Pieces Total substrates number: 03.2mm (36) Pieces Load lock Cassette to cassette Currently stored in clean room 2005 vintage.
ULVAC ULDIS-900-CHLは、薄膜成膜、OLEDディスプレイプロトタイピング、光学コーティングなど、さまざまな用途向けに設計された高性能マグネトロンスパッタリング装置です。このスパッタリングシステムは、強力な磁場と超高真空技術を組み合わせた独自のコンパクトな構成を使用して、単一のスパッタリングユニットで利用可能な最高の蒸着速度を達成します。ULDIS-900-CHLはQuadpol型マルチマグネトロンクラスタスパッタリング源を使用しており、標的物質の運動分布を正確に制御します。この機械は独立して作動し、結合される4つまでのマグネトロンが付いている多層または多成分の薄膜の沈殿を可能にします。各マグネトロンには強力な磁石が搭載されており、高密度プラズマを生成します。また、アルバックULDIS-900-CHLは強力なガス放電源を内蔵し、均一な高率プラズマを実現し、精密な光学特性の堆積を実現しています。ULDIS-900-CHLのロボットアームは、サンプルホルダーの正確な自動移動を可能にするように設計されています。スパッタリング中にサンプルホルダーを正確に移動および位置決めすることができ、マルチステップコーティングまたは複雑なコーティングを1ステップで行うことができます。さらに、フラット基板、円柱基板、曲面基板など、さまざまな基板にカスタマイズ可能な基板ホルダーをサポートします。コンピュータ制御の操作、ユーザーフレンドリーなグラフィックユーザーインターフェース、リアルタイムレシピ制御、拡張オプションなど、このモデルの他の機能により、多層または多成分の薄膜堆積の堆積のための強力でユーザーフレンドリーなツールとなります。このスパッタ装置は、薄膜や光学コーティングの工業生産に最適です。
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