中古 ULVAC SMD-450 #9269742 を販売中

ULVAC SMD-450スパッタリング装置は、ウェーハや基板に薄膜を堆積させるための最先端のツールです。このスパッタリングシステムは、最新のエネルギッシュで均一なスパッタリング技術を統合しており、研究および産業用途に最適です。SMD-450には2つのカソードが装備されており、サンプル上に2つの別々の層を同時に堆積させることができます。最大イオン爆撃、均一性の向上、およびイオンチャネリングの減少のための2レベルの線形ソース構造を備えています。この高度なユニットは、金属、酸化物、窒化物、半導体などのターゲット材料で構成することもできます。従来のマグネトロンと不活性ガスのスパッタリングでは、基板温度は制御されません。これにより、サンプルのさまざまな部分で異なる膜厚が発生します。ULVAC SMD-450は、高度な温度制御基板ホルダーを備えており、最大400°Cの基板温度を制御できます。これにより、サーマルドリフトによる不均一性がなくなります。SMD-450はコンパクトなフットプリントを備え、スペースの効率的な利用のために設計されています。最大10個のターゲットに対して合計4個のチャンバーを備えており、大容量のターゲットポートにより迅速なローディングが可能です。メンテナンス時間とコストを削減するために、水とほこりを捕捉する2段クローズドループ冷却機を備えています。このスパッタリングツールは、均一で均一なスパッタリングプロファイルを提供するために、さまざまな高精度プラズマ制御システムをサポートしています。また、デューティ比、圧力、ガス流量などのパラメータに対する高度なプロセス制御を提供します。このツールは、不規則な形状のアイテムやセクション、小規模なデバイスや構造など、さまざまなサンプルや基板を扱うことができます。高度なULVAC SMD-450スパッタリングアセットは、卓越した制御、信頼性、均一性、生産性を提供します。多数の基板やサンプルに薄膜層を形成するのに最適です。