中古 ULVAC SMD-450 #9269740 を販売中

ULVAC SMD-450
製造業者
ULVAC
モデル
SMD-450
ID: 9269740
Sputtering system High pressure panel Heating panel.
アルバックSMD-450は、さまざまな表面に高品質のコーティングを提供するように設計されたスパッタ装置です。SMD-450は、磁気的に強化された直流リモートプラズマ源を使用しており、プロセスの再現性を向上させ、蒸着速度を最適化します。このシステムはまた、高真空チャンバと加工モジュールを備えており、幅広い処理サイクルを提供します。ULVAC SMD-450は、単一の材料層または異なる材料の複数の層を解放する機能を持っています。このユニットにはターゲット材料供給機が含まれており、材料の連続蒸着とさまざまなターゲット材料との互換性を保証します。SMD-450はまた、均一なコーティングとエッジから中心への遷移のための正確な基板位置決めを可能にする高精度の傾きとターンステージを備えています。ULVAC SMD-450には、毎秒150点以上の検出が可能なマルチポイントクォーツモニターがあり、基板上の膜厚と空間均一性を測定できます。これにより、より速く、より正確に制御された堆積が可能になります。このツールのアーキテクチャにより、複数のスパッタリングガン、および蒸着速度、チャンバー圧力、ソース電力などのさまざまな調整可能なスパッタリングパラメータも可能になります。SMD-450は、マイクロエレクトロニクス、光学部品、その他の要求の厳しい部品など、さまざまな用途に適した信頼性と再現性の高いプロセスを提供します。多種多様な素材に対応できるよう設計されており、さまざまな産業や用途での使用に適しています。さらに、ULVAC SMD-450は効率的であり、蒸着には非常に低い温度が必要であり、優れた表面形態を提供します。SMD-450は取付け、維持すること容易です。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、包括的なグラフィカルディスプレイ、トラブルシューティングガイドやチュートリアルなどの幅広いオンライン支援オプションを提供しています。これにより、未経験者でも様々な環境での使用に最適です。全体的に、ULVAC SMD-450モデルは、さまざまなコーティング要件に最適なスパッタリング装置です。高精度の傾きとターンステージ、および高度なモニタリングシステムにより、信頼性と再現性の高い処理、および均一なコーティングとエッジからセンターへの遷移が可能です。さらに、システム要件は最小限であるため、幅広いアプリケーションや業界に最適です。
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