中古 ULVAC SH 450 #9134632 を販売中

ULVAC SH 450は、超低真空チャンバーを備えた物理蒸着（PVD）スパッタ装置です。薄膜機能性材料の開発に使用されるコンパクトで高性能なスパッタリングシステムです。このユニットは、マイクロエレクトロニクス、ディスプレイ、光学システム、薄膜太陽電池など、さまざまな用途に適しています。SH 450の主なコンポーネントには、チャンバー、ロードロック、スパッタリングガン、ガスインジェクタ、排気装置、および電源が含まれます。このチャンバーは、高精度で再現性のある高品質の薄膜材料の堆積を容易にする4 Paの低圧に対応するように設計されています。内部スパッタガンは、基板全体で非常に均一な厚さを達成することができる正確に制御されたフィルム蒸着速度を生成することができます。ロードロックは最大6基板まで対応可能で、素材交換が迅速です。ガスインジェクタと排気ツールは、チャンバー内のガス圧力とガス純度を制御するために必要な手段を提供します。ULVAC SH 450の電源は、ターゲットに供給される電力と電圧を正確に調整するように設計されています。SH 450スパッタリングアセットは、均一性の高い薄膜層の製造において優れた性能を発揮します。単層の高速堆積と多層積層の両方を提供します。モデルはグラフィカルユーザーインターフェイスを介して制御および監視することができます。装置には、障害信号を検出し、沈殿プロセスを中止することができる内蔵の保護装置も装備されています。ULVAC SH 450は多様な市場に最適な汎用スパッタシステムです。コンパクト設計、超低真空チャンバー、効率的な電源により、幅広いコーティング用途に適しています。単層の単純な成膜から様々な層の複雑な重ね合わせまで、このユニットは高品質で反復可能な薄膜層を生成します。さらに、このマシンは複数のソース素材と互換性があり、ユーザーは製品開発の柔軟性を高めることができます。