中古 ULVAC SH 450 #9133526 を販売中

ULVAC SH 450は、蒸着システムの日本メーカーであるULVAC Technologiesが設計した洗練されたスパッタ装置です。SH 450は、超高真空（UHV）、高真空（HV）、低圧（LP）環境など、さまざまな蒸着雰囲気を提供することができます。金属、誘電体、有機物など様々な材料の効率的な堆積プロセスを提供します。ULVAC SH 450は、カソードのスパッタリングを利用して基板上に材料のステップバイステップ層を構築するDCスパッタリング蒸着システムです。要するに、ユニットは、イオンで基板を爆撃するために陰極ターゲットを使用します。イオン化された気化ターゲット粒子は、基板表面に凝縮して薄く均一な層を形成します。SH 450には2つのソースが装備されており、それぞれ最大3。6 kWの電力をスパッタすることができます。また、マルチソース操作が可能で、最大4つのソースを使用した同時スパッタリングが可能です。さらに、材料特性を向上させるために、酸素、窒素、アルゴンなどの反応ガスを導入することができる独立したガス注入ツールが含まれています。アセットは、最大400°Cの最高温度で、基板加熱のための柔軟なプラットフォームを提供しています。また、シーケンシャル、水平、または垂直スパッタリングを可能にする特別に設計された実装モデルが付属しています。さらに、ULVAC SH 450には、データ収集装置とユーザーフレンドリーなグラフィックユーザーインターフェイスが含まれており、プロセス制御を自動化できます。上記の機能に加えて、SH 450には安全で信頼性の高い動作を保証するいくつかの統合安全機能があります。緊急停止機能、オーバーストレスプロテクター、バックサポートシステムなどがあります。これらの機能はすべて、小型サンプルから大規模な生産まで、さまざまな製造プロセスに適しています。ULVAC SH 450は、高温蒸着プロセス、フレキシブル基板加熱、および完全な蒸着プロセスのための信頼性の高い安全機能を組み合わせたスパッタリングマシンです。様々な素材や基板に適しており、小型サンプルの製作や大規模生産に最適です。