中古 ULVAC SBH-16SA #9110935 を販売中

ULVAC SBH-16SAは、導電性材料の薄膜を基板に迅速かつ効率的に堆積させるために設計された小型かつ強力なスパッタ装置です。これは、高出力、可変周波数RFマグネトロンスパッタリング源と10-7 mbarの基圧に達することができる内部高真空システムが装備されています。さらに、6位置のロータリーホルダーを備えており、スパッタリング工程中に最大6つのサンプルを一度にロードして回転させることができます。このユニットは、フラットパネルや薄膜デバイスの製造などの用途に適しています。ガラス、シリコン、セラミックなどの基板に金属や酸化物などの様々な材料をスパッタすることができます。このマシンは、純粋な金属からよりエキゾチックな化合物材料まで、スパッタ可能な幅広いターゲット材料など、他のスパッタリングシステムに比べていくつかの利点を提供します。さらに、RFマグネトロン源は、蒸着速度を向上させるための高い電力負荷を提供します。このツールには、非常に使いやすく信頼性の高い多種多様な機能が付属しています。制御可能なパラメータは直感的なタッチスクリーンインターフェイスからアクセスでき、必要に応じてスパッタリング速度を素早く調整できます。さらに、この資産には自動安全および真空モニターが装備されており、モデルが安全かつ効率的に実行されていることを保証します。この機器は、自動化された生産ラインに統合されるように設計されており、イーサネットやUSBなどのさまざまな通信プロトコルが付属しています。これに加えて、Automated Film Monitor （AFM）やVacuum Gate Valve （VGV）などのアクセサリーもあり、ユーザーはシステムを簡単に監視および制御できます。全体的に、SBH-16SAは信頼でき、有効なスパッタリングユニットを捜すそれらのための優秀な選択です。それは機能および利点の広い範囲を提供し、それを最高の性能および長寿が要求されるさまざまなスパッタリングの適用のための大きい選択にします。