中古 ULVAC MPS-8000 #9053708 を販売中

ULVAC MPS-8000は、高品質の薄膜を製造するために設計された最先端のスパッタ装置です。このロボットスパッタリングシステムは、高精度の自動プロセス制御、大型基板サイズ、容易なアクセスを備えています。MPS-8000は、基板およびフレックスディスク上の高品質の薄膜の縦方向の磁気記録層のスパッタリング用に設計されています。自動化されたプロセスコントロールユニットは、フラックスの均一性、粒子加速度、蒸着速度などの精密で繰り返し可能なプラズマパラメータを提供します。ULVAC MPS-8000には、高品質の電源と安定した信頼性の高い部品があり、途切れることのないスパッタリングと高速処理が可能です。統合された制御機械およびタッチスクリーンインターフェイスはロボティクスに経験の浅いユーザーのために、用具の使用を容易にします。MPS-8000は、直径12インチまでの大型基板を取り扱うための6軸ロボットアームを備えており、容易で正確です。大きな基板をジグに固定することで、正確な動きと操作が容易になります。これにより、同じフィルム品質でさまざまな形状やサイズの基板をスパッタすることができます。さらに、このアセットは、基板またはウェーハホルダーに直接アクセスできるオープンポートアクセスも備えています。これにより、基板のメンテナンスと迅速な積み下ろしのためのチャンバー内部への容易なアクセスを提供します。尿の調節可能なガスシャワーおよび異なったガス四元数およびサイズのための選択はスパッタリングの適用の広い範囲を促進します。結論として、ULVAC MPS-8000は、高精度のスパッタリングプロセスのための容易なアクセスと自動制御を備えた費用対効果の高いスパッタリングモデルです。組み込みのロボットアームと調節可能なガスシャワーは、大型基板のスパッタリングと様々な形状とサイズを容易にします。信頼性の高い堅牢なコンポーネントとユーザーフレンドリーなインターフェースMPS-8000、高精度の薄膜成膜を必要とするアプリケーションに最適です。