中古 ULVAC MLX-3000N #9273657 を販売中

ULVAC MLX-3000Nは、日本の真空機器メーカーであるULVACが設計・製造した低真空スパッタ装置です。MLX-3000Nは、材料処理のためのオールインワンプラットフォームです。それは0。1-5。0 mbarから及ぶ操作圧力の単一部屋、低真空のスパッタリングシステムです。材料の物理的沈着、酸化、窒化、アニーリング、多層ナノコンポジットフィルムの沈着など、さまざまな用途やプロセスに使用できます。ULVAC MLX-3000Nには、ダイレクトドライブポンプを備えた閉じたタイプの真空チャンバーがあり、大気圧から必要な作業圧力への迅速な避難を可能にします。高電圧ユニット、一部アクティブSCR、マニュアルチャッキングユニット、残留ガス分析機も装備しています。これにより、堆積プロセスを正確に制御することができ、一貫して優れた結果を得ることができます。MLX-3000NにはULVAC独自のマニュアルチャッキングツールが装備されており、さまざまなサイズ、形状、材料の幅広い基板を加工することができます。最大4つの基板を一度に処理できるため、サンプルの大量処理が可能です。アルバックMLX-3000Nには、反射防止コーティング（ARC）オプションが装備されています。スパッタリング工程中のターゲットからの熱放散や背面反射を防ぎ、均一な膜厚を確保するのに役立ちます。MLX-3000NにはULVAC in-situモニタリング機能も搭載しており、温度、蒸着速度、厚さなどのモニタリングが可能です。また、高度なクローズドループ・フィードバック制御アセットも備えており、正確で安定したプロセス制御を保証します。全体的に、ULVAC MLX-3000Nは、材料処理アプリケーションに最適です。そのシングルチャンバー設計と幅広い機能により、正確で一貫した結果が得られます。その手動チャッキングモデル、in-situモニタリング、および高度なクローズドループのフィードバック制御は、高品質の結果を必要とする顧客にとって理想的な機器です。