中古 ULVAC KS-300-1.5 #9110225 を販売中

この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。

ULVAC KS-300-1.5
販売された
ID: 9110225
ヴィンテージ: 1989
System 1989 vintage.
アルバックKS-300-1.5スパッタリング装置は、高エネルギー電子を利用して均一で均一で滑らかなフィルムコーティングを実現する高性能プラズマ強化成膜システムです。このユニットは、シングルエンドスパッタリング源とプラズマ生成用の真空チャンバーを備えています。さらに、半導体、金属、その他の材料を加工するための様々なアクセサリーが装備されています。このツールのコアは、コントローラとデジタルディスプレイを内蔵した200mm真空チャンバーで構成されています。これは、10-6 Torrの基圧で、最大10-3 Torrの圧力を達成することができます。スパッタ源は粉体塗装されたアルミニウムで、真空チャンバーの上に取り付けられ、電源に接続されています。スパッタリングソースは、2つのガンカソード構成を使用して、均一で非常に均一なコーティングを生成します。利便性のために、アセットには、ターゲットの正確な配置を確保するためのプログラム可能なターゲットアライメントモデルが含まれています。さらに、ターゲットと基板の間の最大接触を確保するためのターゲットホルダーが装備されています。システムには、様々な材料の加工のための様々なアクセサリーが装備されています。高密度プラズマを作成するためのマグネトロンカソード、基板温度を制御するための基板ヒーター、基板を制御するためのシャッターアクチュエータ、イオン爆撃エネルギーを制御するためのアクチュエータ、均一なコーティング堆積物のためのスイープ速度調整器などがあります。さらに、温度コントローラ、サーマルセンサー、シールドエンクロージャ、カメラ機器を内蔵しており、正確かつ正確なプロセス制御が可能です。ULVAC KS-300-1.5は多目的で高性能な機械であり、さまざまな基板上で非常に均一なコーティングが可能です。小粒で高品質なフィルムを実現し、プロセスの再現性と均一性に優れています。半導体業界での成膜用途に最適です。
まだレビューはありません