中古 ULVAC Entron T5 #9020575 を販売中

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ULVAC Entron T5
販売された
ID: 9020575
ウェーハサイズ: 12"
Sputtering system, 12".
ULVAC Entron T5は、日本の製造会社ULVACが開発したスパッタリング装置です。薄膜材料で大型基板をコーティングするために設計された小型スピンオンシステムです。Entron T5は、ターゲット原子を基板上に射出するスパッタリング工程を使用して動作し、薄膜層を作成します。ULVAC Entron T5には、マスフローコントローラと放物線状の単面マグネトロンターゲットが装備されています。この構成は、効率的で高スループットの蒸着プロセスを提供します。また、最大出力5000Wの電源ユニットを搭載し、最高のフィルム品質と蒸着速度を確保しています。Entron T5は、蒸着チャンバ内の温度を細かく制御することもできます。これは、強制空冷ユニットとチャンバーの壁の周りに埋め込まれた電気ヒーターによって達成されます。これにより、再現性と品質保証のための正確な温度制御が可能になります。ULVAC Entron T5は、真空圧、パワーレベル、膜厚を常に監視するスパッタリングプロセス監視機も備えています。これにより、堆積プロセスを容易に監視できます。また、蒸着室への反応ガスの制御導入を可能にするガス注入ユニットを装備しています。さらに、Entron T5は幅広いスパッタリングターゲットを提供しており、さまざまな材料蒸着要件に最適です。金属、合金、誘電材料の蒸着に適しています。さらに、このスパッタリングツールの大きなチャンバーは、最大800mm × 1000mmの基板に対応できます。最高品質を確保するために、アルバックは製造プロセスに最高の精度の基準を組み込みました。磁場は安定したオートチューニング回路で安定して生成され、超低真空プロセスはULVAC高度なソフトウェアで監視および安定化されます。全体的に、ULVAC Entron T5は、効率的で正確な薄膜コーティングを提供するコンパクトで高性能で経済的な価格の資産です。その特徴はそれを薄膜の沈殿の適用の広い範囲のための理想的な選択にします。
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