中古 TRIKON Sigma 200 #9290660 を販売中

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TRIKON Sigma 200
販売された
ID: 9290660
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6".
TRIKON Sigma 200は、さまざまな半導体製造プロセス向けに設計された高性能エッチングツールです。この装置には、最大200Wの電力を供給できる強力なキセノンフラッシュランプが装備されています。また、可変出力、高解像度モーションコントロール、ユーザーが選択可能なプロセスレシピなどの高度な機能も備えています。Sigma 200の高度な光学系は、各モーションステージの正確なアライメントを保証しますが、加工されたアルミニウムフレームは剛性とユニットの安定性を高め、サンプルステージをマウントするための簡単なワークスペースを提供します。TRIKON Sigma 200は、エッチング時に高い精度と再現性を保証する高度なモータとエンコーダ制御機によって制御されるさまざまなステージモーションを備えています。シグマ200の強力なキセノンフラッシュランプは、エッチング処理を強化するために不可欠な広範囲の照明を提供します。さらに、このツールには高精度のモーションコントロールアセットと高度な温度監視モデルもあります。これにより、すべてのプロセスが設定された温度範囲で実行されるようになります。TRIKON Sigma 200は、多種多様な半導体プロセスに最適な機能を備えています。それは高度の光学レンズ、よく設計された反射器の部屋および均一な光強度の配分を保障するのを助ける二重ペイン窓が装備されています。また、Sigma 200は最適な反射率と調整可能なランプ電源設定を備えており、ユーザーはエッチング処理をさらに微調整することができます。また、バックリフレクションフィルムや拡散フィルムを装備し、部品の照明や破片の蓄積を防ぎます。TRIKON Sigma 200の高度なソフトウェアインターフェイスは、エッチング処理を完全に制御します。これは、エッチング深さ、エッチング面積、サイクル数、パルス長、パルスエネルギー、および負荷方向などのプロセスを設定、制御、および監視する機能を提供します。さらに、このシステムは強力なユーザーレシピも備えており、ユーザーはさまざまなアルゴリズムや設定を保存してリコールすることができます。全体として、Sigma 200は幅広い半導体アプリケーションに最適なエッチングソリューションを提供しています。その先進的な光学系、強力なキセノンフラッシュランプ、および精密制御システムは、半導体製造プロセスに適しています。カスタマイズ可能な機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、効率的で信頼性の高い結果が得られます。
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