中古 TECPORT Cantata #9124385 を販売中

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ID: 9124385
Ion Beam Sputtering (IBS) System 3-Grid RF Beam Control interface Vacuum chamber: Symphony 8; 800mm W x 800mm D x 700mm H Frame assembly: Tecport with duct system Rotation system: planetary, (4) 88mm diameter substrate holders Substrate heater: Eurotherm, SCR halogen heater Temperature controller: Eurotherm 2408 PID programmable High vacuum pumping system: Helix CTI OB 320 cryopump with 9600 compressor Low vacuum pumping system: Edwards Vacuum gauge controller: Granville-Phillips 307 Vacuum gauge: Granville-Phillips: (2) convectron gauge, (1) tubular ion gauge Optical monitor system: Intellevation IL 550 Series RF ion source: KRI 14cm RF ICP gridded ion source package Target assembly: Tecport, (3) 12" assemblies with automatic indexer Ion source: KRI EH400HC with hollow cathode electron source Rack system: Tecport UPS: MGE Pulsar Extreme M22000RT-2U Computer: Dell PowerEdge 2950 Touch screen: (2) 15" ELO Intellitouch Keyboard and mouse PLC: Allen-Bradley ControlLogix 1756 Kiosk stand: Tecport (5) MFC: (2) RF ion source, (2) End-hall ion source, (1) HCES Auto pressure controller: Apex Shields: Tecport Software package: Symphony OPUS Load lock package: Tecport.
TECPORT Cantataは、産業用途向けに設計された最先端のスパッタリング装置です。薄膜を幅広い基板に成膜できる強力な真空蒸着技術で構成されています。このシステムのコンパクトな設計により、多くの生産エリアに適合し、部品に簡単にアクセスできます。カンタータスパッタリングユニットは、真空蒸着チャンバー、蒸着源、ターンテーブル、プロセスコントロール、真空ポンプ機で構成されています。真空ツールは、前面真空チャンバー、一次真空チャンバー、およびロードロックで構成されています。蒸発源はセラミックまたは石英のるつぼから作られており、最大3つのターゲットを装備することができます。ターンテーブルにより、複数の基板を同時に加工することができ、生産性が大幅に向上します。TECPORT Cantataの高度なプロセス制御資産は、精密かつ一貫した蒸着速度を提供し、高品質の部品を一貫して提供します。このモデルは、アルミニウム、金、および様々な酸化物の層を含む基板に複数の層の材料を堆積することができます。Cantata装置から得られる部品は、優れた電気的および光学的特性を備えているため、さまざまな用途に最適です。TECPORT Cantataスパッタリングシステムも操作が非常に簡単です。ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを使用して、オペレータは沈殿プロセスを素早くセットアップして実行できます。また、さまざまな診断ツールを備えているため、オペレータはリアルタイムでプロセスを監視し、必要な調整を行うことができます。これらの機能のすべては、Cantataをほぼすべての産業用真空蒸着アプリケーションに理想的なソリューションにします。TECPORTのCantataのスパッタリング機械は信頼でき、反復可能で、有効な沈殿プロセスを提供するように設計されています。その先進的な機能とコンパクトなサイズは、大規模生産と小規模生産の両方に最適です。強力な真空蒸着技術により、Cantataはオペレータに産業用途向けの汎用性と費用対効果の高いソリューションを提供します。
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