中古 SUNIC IS-3000 #9153236 を販売中

SUNIC IS-3000スパッタリング装置は、薄膜構造を製造する際に最高レベルのプロセス制御を提供するように設計された高度なスパッタ成膜ツールです。IS-3000システムは、3つのマグネトロン電源、3つのスパッタ源、およびオプションの基板ヒーターを備えたコンパクトでスパッタシールドされたチャンバーユニットで構成されています。コンピュータ制御プラットフォームは、リアルタイムの機械制御とグラフィカルユーザーインターフェイスによるデータ表示を提供します。SUNIC IS-3000のユニークな設計により、金属、酸化物、窒化物、その他の化合物からの幅広い材料のスパッタリングを可能にします。オプションの基板ヒーターを使用することで、成膜材料に応じた室温または高温でのスパッタリングが可能となり、複雑な形態や材料特性の向上を図ることができます。ヒーターの使用はまた基質上の大きい区域の均等性そして均質性を可能にします。IS-3000の高度なパワーコントロールにより、高精度で再現性の高いプロセスが可能となり、蒸着速度の均一性と全蒸着フィルム厚の均一性を優れた制御を提供します。これにより、表面構造と組成の制御を改善して層を堆積することが可能になります。3つの独立したスパッタ源は、バルクまたは異なる材料との組み合わせで材料の堆積を可能にし、より高いフィルム品質を作成し、フィルム比を改善したより大きな領域のフィルムの堆積を可能にします。SUNIC IS-3000ツールのコンパクトなサイズ、堅牢な構造、およびソフトウェアの安定性により、UVリソグラフィおよびOLEDデバイスの製造に最適です。IS-3000は様々な基板形状やサイズをサポートしており、マスクや基板の導入に柔軟性があり、堆積プロセスを最適化することができます。この資産はまた、追加の利点である人件費を削減することができる自動ローディングとアンロードのプラットフォームの統合をサポートしています。さらに、このモデルは、蒸着速度と薄膜の品質を監視するための監視機能を備えています。SUNIC IS-3000スパッタリング装置は、蒸着プロセスを正確に制御できるように設計されており、さまざまな用途に合わせてプロセスをカスタマイズする柔軟性があります。このシステムの堅牢な構造とソフトウェアの安定性は、最高品質のフィルムを提供し、薄膜の成膜と製造の優れた均一性のための基板間相互作用を最小限に抑えます。豊富な機能とアクセサリーを備えたIS-3000は、幅広い用途に適した信頼性の高い選択肢です。