中古 SHIBAURA CFS-12P-100H #32091 を販売中

SHIBAURA CFS-12P-100Hは、特殊なプラズマ、ガス、熱処理技術を組み合わせ、優れたエッチングとアッシングの結果を得ることができる最先端のエッチャー/アッシャーです。CFS-12P-100Hは、シリコン、ガラス、セラミック、金属を含む幅広い材料の等方性および異方性エッチングおよびアッシングの両方を製造することができます。このユニットは、クラス100またはクラス1000のクリーンルームに直接取り付けられるように設計されており、その性能は1時間あたり100個の生産速度でテストされています。このユニットのプロセスチャンバーはステンレス製で、密閉された真空チャンバー、石英チューブ/カソード、ヒーター、石英プレートを備えています。さらに、ユニークなダブルシール設計により、チャンバ間の汚染を防ぎ、高度なRF電源供給装置により、プロセスサイクル全体で入力電力を正確に制御できます。アニーリングおよびクリーニングシステムは、セラミックヒーターと統合された熱交換器を使用して、正確な温度制御とサーマルオーバーシュートの除去を提供します。また、SHIBAURA CFS-12P-100Hには先進の可変RF電源ユニットが装備されており、出力電力の制御に優れ、独自のデュアルキャビティプラズマママシンによりエッチングと低温動作の深さを最大限に引き出すことができます。CFS-12P-100Hは、さまざまなガスや化学物質とも互換性があり、幅広いエッチングおよびアッシング用途に最適です。このユニットは安全性と信頼性のために設計されており、プロセスチャンバー、RFジェネレータ、およびユーザーを危険から保護するための複数の安全装置を備えています。全体的に、SHIBAURA CFS-12P-100Hは、優れたエッチングとアッシング性能のために設計された高度なエッチャー/アッシャーであり、ユーザーは最も安全な方法で最高品質の結果を達成することができます。