中古 PERKIN ELMER 4410 #9248755 を販売中

PERKIN ELMER 4410は、物理蒸着における最も厳格な基準を満たすように設計された高効率スパッタリング装置です。4410は、1つのシステムで高速および低温スパッタ蒸着を提供し、さまざまな基板上に薄膜コーティングを形成することができます。チャンバーサイズは125in x 72in x 14inで、扱いやすい基板サイズです。このチャンバーは、6つのHeガスポートと2つのH2Oマニホールドで設計されており、非反応性ガスの断面堆積用に設計されています。真空チャンバに接続されているスパッタ源は2つのうちの1つであり、さまざまなプロセス時間にわたるスパッタ速度を可能にします。2つのスパッタ源は、直流（DC）と無線周波数（RF）の両方のスパッタ蒸着用に設計されています。どちらのソースも、バックバイアス発生器と内部アーク検出器をベースにしたアーク制御を備えており、操作を正確に制御できます。チャンバー内には、サンプル温度および水温センサー、および調整可能なクランプ力を持つ静電チャックがあります。これにより、ユーザーは幅広いフィルムの沈着を実験的に調査することができます。より大きな制御のために、このツールにはデータ収集と自動化資産も含まれています。このモデルは、ユーザーがプロセスと対話し、真空データを監視し、その場でサンプルの位置を制御することができます。さらに、装置はプロセス分析のためのオプションの範囲を提供します。また、速度、柔軟性、精度を向上させる機能も備えています。これには、簡単なサンプル位置決めのためのクイックロードマグネトロンX -Yテーブル、プロセス終端用の電圧モニタ、および完全なスパッタチャンバーシールドが含まれます。この設計は、ガス拡散を最小限に抑えながら陰極を完全に保護するのに役立ち、高いスパッタ速度、速度安定性、最大プロセスの均一性を可能にします。PERKIN ELMER 4410のもう一つの利点は、直感的なグラフィックベースのグラフィカルユーザーインターフェイスで、スパッタリングプロセスを簡単にナビゲートおよび制御できます。さらに、このユニットは豊富なプロセス履歴パラメータと品質管理データを提供し、ユーザーは蒸着プロセスをリアルタイムで監視することができます。4410は速い処理および優秀な性能を提供する高率、高度の薄膜の沈殿のための理想的な選択です。PERKIN ELMER 4410は、直感的なコントロール、高水準の精度、信頼性の高い動作により、最も要求の厳しいスパッタリング要件を満たすことができます。