中古 PERKIN ELMER 4400 #9210436 を販売中

PERKIN ELMER 4400スパッタリング装置は、金属、化合物およびハイブリッド化合物の薄膜を基板に堆積させるために使用される高性能装置です。このスパッタリングシステムは、産業、科学、学術研究のための強力なツールです。4400はマグネトロンとイオンビーム支援マグネトロンスパッタリングを使用しています。マグネトロンスパッタリングは、均質な薄膜蒸着を生成し、基本的な材料蒸着用途に使用されます。イオンビーム支援マグネトロンスパッタリング技術により、フィルムの接着性が向上し、高品質なフィルムが得られます。さらに、イオンビーム支援マグネトロンスパッタリング技術は、高いアスペクト比を持つコンフォーマルフィルムの堆積に最適です。このユニットの電源は、正確な電流制御と優れた再現性を備えた5ターゲットスパッタリングを提供することができます。この機械の4ポケットロックツールは、蒸着効率とスループットを向上させます。ロードロックアセットは、空気中の汚染物質の最小化を保証し、安定したベースプレッシャーを可能にします。このソフトウェアには、プロセスパラメータを簡単に制御できる高度なユーザーインターフェイスが含まれています。高度なデータロギングモデルは、操作中にユーザーセットパラメータを記録し、リアルタイムの蒸着速度制御も備えています。また、機器には、環境圧力を監視するための圧力モニターが含まれています。PERKIN ELMER 4400はチャンバー径830mm、チャンバー高さ368mmです。チャンバーは、複数の材料との高い均一性と互換性を提供するように設計されています。このシステムは、プロセス加熱を低減し、ウェーハとチャンバー間の通信を向上させる独自の台座設計を採用しています。このユニットには、2段階で構成される高度なポンピングマシンも含まれており、どちらも工具の遷移を減らし、プロセス汚染を低減するように設計されています。第1段タービンポンプは、ダブルステージシールを使用して、高い室内清浄度を確保します。第2段階のクライオポンプは残りの汚染物質を凍結し、不活性にします。4400スパッタリング資産は、工業レベルの薄膜蒸着に最適です。その技術とモデルの強化の組み合わせは、優れた接着性と優れた再現性を備えた高品質で準拠したフィルムを保証します。この装置は、研究者に信頼性の高い効率的な薄膜技術の探索と開発方法を提供します。