中古 PERKIN ELMER 2400 #9255143 を販売中

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ID: 9255143
Sputtering system.
PERKIN ELMER 2400は、さまざまな基板上にターゲット材料の薄膜を作成するために使用されるスパッタ装置です。真空蒸着装置の一種で、さまざまなサイズや形状の材料の薄膜を適用することができます。2400は単一人の、UHVのスパッタリングの沈殿システムです。これは、長さ4 「x4」角度カットチャンバー23「内の2つの11」丸いターゲットを備えています。このチャンバーには、表面電荷を中和するためのRFドライブを備えたイオン源と、動作中の薄膜組成制御が含まれています。成膜プラテンと基板ホルダーにターゲット材料を配置し、ターゲット材料と基板を非常に正確にアライメントすることができます。ユニットは、標準またはカスタムのチャンバ構成のいずれかで動作できます。冷却されたマグネトロンスパッタリング技術を使用して設計されており、専用の3KW電源を備えているため、さまざまなスパッタリング材料を使用することができます。また、加熱ターボポンプを備えており、高速で効率的なガス排気を実現し、優れたフィルムと部品性能を実現しています。チャンバーには、安定した低圧蒸着環境を保証する標準的な圧力測定および制御機械が装備されています。PERKIN ELMER 2400は、基板とターゲットの両方の温度制御を備えています。基板ホルダーは400°Cまで加熱され、最適な接着性とフィルム品質が向上します。ターゲット加熱によりスパッタリング条件が改善され、沈着率が向上します。さらに、このツールにはプログラマブルプロセスコントローラが含まれており、ユーザーの特定の堆積要件に合わせて簡単にプログラムすることができます。2400は、薄膜蒸着用途の信頼性の高いオプションです。使いやすく、メンテナンスを最小限に抑え、安定した信頼性の高いスパッタリング成膜結果を得ることができます。その優れた性能、柔軟性、品質により、産業用途に最適です。
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