中古 OERLIKON / BALZERS Sprinter #9236424 を販売中

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ID: 9236424
ヴィンテージ: 2000
Sputtering systems (8) Chambers Cathode / Power ARQ21 RF / ADVANCED ENERGY 5513 ARQ21 RF / ADVANCED ENERGY 5513 ARQ21 DC / ADVANCED ENERGY Pinnacle ARQ21 DC / ADVANCED ENERGY Pinnacle ARQ21 RF / ADVANCED ENERGY 5513 ARQ21 DC / ADVANCED ENERGY Pinnacle ARQ21 DC / ADVANCED ENERGY Pinnacle 2000 vintage.
OERLIKON/BALZERS Sprinterは、さまざまな薄膜コーティング用途向けのハイエンドで先進的なスパッタリング装置です。このシステムは、プロセスをカスタマイズするための多目的なオプションを備えた高い蒸着速度を達成するように設計されています。マルチステージスパッタリングジオメトリを使用して、開始材料と再現性を向上させます。また、材料に依存しないカソードを備えているため、さまざまな材料や可変電源の堆積が可能で、最適なコーティング条件を実現できます。BALZERS Sprinterは、2対1の陰極/ターゲット設計を備えており、効率的な材料消費と高スループットを提供します。ガスインジェクション装置は、スパッタリングチャンバー全体の均一性と均質性を保証し、適応性のあるプロセス制御により、プロセスがラインに留まることを保証します。特有のヒーター設計は、調整可能なRFパワーレベルと組み合わせて、ターゲット材料の温度を予熱および制御することを可能にします。OERLIKON Sprinterにはクォーツモニターが装備されており、光ファイバ機能とコーティングおよびスパッタリングプロセスに利用可能な最高解像度の光学素子を提供します。また、制御システムを一体化した水晶モニターなどのメンテナンス性の低い部品も備えており、基板上のほこりの蓄積を防止します。また、効率的で欠陥のない材料沈着を保証する汚染防止システムも含まれています。最後に、Sprinterの白いセラミックチャンバーによって提供される欠陥のない表面カバレッジは、さまざまなアプリケーションを可能にします。結論として、OERLIKON/BALZERS Sprinterスパッタリングツールは、薄膜コーティング用途のための高スループット、高分解能性能を提供します。このアセットは、材料に依存しないカソード、可変電源、低メンテナンス部品、および効率的な材料消費を実現する2対1のカソード/ターゲット設計を提供します。最後に、ガスインジェクションモデル、ヒーター設計、アダプティブプロセス制御などの高度な機能により、この機器は正確で一貫したスパッタリングプロセスを必要とする人にとって理想的な選択肢となります。
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