中古 OERLIKON / BALZERS Sprinter #9031245 を販売中
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販売された
ID: 9031245
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 2001
Sputtering systems, 5"
Process: (1 unit) Blue-ray, (1 unit) DVD-RW
(9) DVD Chambers
(5) DC power
(3) RF power
Cathodes: ARQ21
ITO touch panel
1. ARQ21 DC
2. ARQ21 RF
3. ARQ21 RF
4. ARQ21 RF
5. ARQ21 RF
6. ARQ21 RF
7. ARQ21 DC
8. ARQ2121CS-2
9. ARQ21 DC
Currently de-installed
400 V (3L+N+PE), 50/60 Hz
2001 vintage.
OERLIKON/BALZERSスプリンタースパッタ装置は、薄膜コーティングを材料に適用するための高度な成膜ツールです。このシステムは、生産速度と蒸着の均一性を最大限に高めるために設計されており、高精度の蒸着プロセスに優れた精度を提供します。バルザースプリンターユニットは、高真空マグネトロンスパッタリング技術を採用し、ターゲットを高真空チャンバーに配置します。ターゲットの周りに電界が発生し、スパッタリング領域を蒸発させ、材料を下の基板に堆積させます。ガスフロー監視装置を内蔵し、最適な蒸着条件のために正しい圧力、流量、温度を維持します。このツールは、コンパクトな構成で最大12のターゲットで動作するため、複数の材料を同時に蒸着することができます。交換可能なターゲットホルダーにより、特定の堆積プロセスに適した材料の組み合わせを簡単に選択できます。アセットの自動校正により、正確な沈着速度と均一性が保証されます。OERLIKON Sprinterは、金属、酸化物、窒化物など、さまざまな材料の堆積に適しています。また、ハイスループット成膜が可能で、マイクロエレクトロニクス部品、光学部品、医療用インプラントのコーティングに最適です。精密な制御機能により、薄膜トランジスタなどの複雑な構造を正確に堆積させることができます。このモデルはユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えており、最大99個の堆積レシピのプログラミングが可能です。また、ユーザーは操作履歴を保存することができ、同一の堆積プロセスを便利に再現することができます。スプリンタースパッタ装置は、信頼性が高く、効率的で、ユーザーフレンドリーです。高精度の蒸着プロセスに最適で、優れた歩留まりと蒸着均一性を提供します。それは先端技術プロダクトの製造業者そしてエンジニアのための貴重な用具です。
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