中古 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Mark II #9119500 を販売中

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィーパターニングとエッチング技術のための多機能プロセスソリューションです。半導体デバイスの製造や産業用転写印刷用途など、電子ビーム誘導および従来のフォトリソグラフィック処理に特化して設計されています。このシステムは、最適化されたスキャンステージ、ダイレクトイメージングオプティクス、ブーストコントロールユニット、および費用対効果の高い高度なエレクトロニクスを含むEビームリソグラフィープラットフォームで製造されています。これは、高度な構造とパターンの生産に高い再現性と精度を確保する封じられたデュアルマグネット光学設計で構築されています。これにより、ナノ構造の製造プロセスに適したソリューションとなります。MRC Mark IIには、レーザーダイオードベースのライティングソースがあり、光学コンデンサと最適に結合されているため、大きなパターン領域のワンショット露光が可能です。これにより、解像度の要件に応じて、高品質のフォトレジスト画像の生産性を最大限に高めることができます。このツールはまた、用量制御インターフェイスと環境制御資産を提供しています。これにより、用量、速度、フォトレジストの互換性に関して、プロセスのリアルタイム最適化を柔軟に実行できます。また、TEL Mark IIには専用のマスクレスカメラモデルを搭載し、室内構造の見直しが可能です。この装置は、構造物のレイアウトと断面を正確に記録し、さらなる分析を行います。さらに、ジッタや歪みを排除した優れた画像アライメントユニットにより、適切な構造アライメントを実現しています。さらに、Mark IIは多彩なデータ管理サービスを誇っています。これにより、ユーザーは安全なクラウドプラットフォーム全体にプロジェクト設定と進捗レポートを保存できます。これにより、ユーザーはあらゆる地理的境界を越えてデータにアクセスしたり、アーカイブやバックアップの目的でデータを保存したりすることができます。TOKYO ELECTRON Mark IIフォトレジストマシンは、生産規模のアプリケーション向けの堅牢で洗練されたフォトリソグラフィーソリューションです。高度な設計により、高い生産効率と正確性が保証され、データの容易な実装と安全な管理が可能です。