中古 MRC 944 #9023648 を販売中

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MRC 944
販売された
製造業者
MRC
モデル
944
ID: 9023648
Sputtering system.
MRC 944は、オプトエレクトロニクスやその他のハイテクアプリケーションに高性能な蒸着を提供するように設計されたデュアルプレーナーマグネトロンスパッタリング装置です。それは高出力および高率沈殿物の両方を収容できる4陰極、2部屋システムです。このユニットには、高度なGlid CoplanarTMターゲットアタッチメントマシンが装備されており、統合された多周波電源により、正確な制御と柔軟性を実現します。このツールは、高純度金属、導体、誘電体、モノと多層スタック、またはそれらの組み合わせなど、さまざまなフィルムを堆積することができます。チャンバーの設計はまた、アルゴン、酸素、窒素、またはそれらの組み合わせを含むさまざまなプロセスガスを可能にします。944は独立した操作のための2つの独立したスパッタ源そして2つの部屋を統合します。この設計は、1。1m2/hrまでの生産レートで高い生産能力と柔軟性を提供します。チャンバーは簡単かつ迅速に交換され、高速なサイクルタイムを提供し、さらなる柔軟性を提供します。基板ローディングステーションは、迅速かつ効率的なサンプル配置を可能にします。このアセットは、高温、高真空環境のために設計されており、水冷式の磁気シールドを備えているため、高性能の薄膜蒸着に最適です。シールドは、敏感な材料の堆積中に追加の保護を提供します。また、高度な監視および制御機能を備えており、一連の強力なフィードバックループにより、プロセスの精度と再現性を向上させます。デポジットマッピングとレート監視を組み合わせることで、徹底したプロセス制御と最適化が可能になります。また、MRC 944は独自の電極位置制御システムを備えており、実行中でもスパッタパラメータを微調整できます。この機能により、高精度なナノメートルスケールの薄膜の堆積が可能になります。全体的に944は、オプトエレクトロニクス、光機械等の高性能部品の製造に使用できる洗練されたスパッタリングユニットです。このマシンは、ユーザーに信頼性、信頼性、柔軟性を提供し、品質と性能目標を満たす高精度の薄膜を製造することができます。
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