中古 MRC 8667 #9007986 を販売中

MRC 8667は、高品質、高スループット薄膜成膜用に設計されたスパッタ装置です。システムの主なコンポーネントには、高出力の無線周波数（RF）スパッタ源があり、材料をソースから基板、ロータリーターゲット、シールドシャッター、ロードロック機構に転送するために使用されます。RFスパッタソースは、異なるスパッタリングのニーズに対応する3つの異なる電源設定を提供します。ターゲットは、薄膜の迅速な成膜と均一なコーティングを可能にする回転機構です。シールドシャッターは調整可能で、スパッタプロセス中に材料がユニットに入るのを防ぐために必要に応じて閉じたり開けたりすることができます。負荷ロックメカニズムは、空気への露出を最小限に抑えた基板の積み下ろしに使用されます。8667は、ユーザーがスパッタ沈着の速度を正確に制御することができる洗練された制御機を備えています。このツールは、スパッタ速度、目標温度、および圧力の正確な制御を提供します。さらに、アセット内のスパッタ源を簡単に取り外し、異なる材料セットに置き換えることで、素早く簡単にターゲットエッチングできます。このモデルは複数のステッププログラミングも備えており、ユーザーは単一の設定で複数のレイヤーを入金することができます。MRC 8667は酸化物、窒化物およびカップリング層の沈殿、また混合材料の沈殿のような要求の厳しい産業適用のために適しています。また、ゲルマニウム、炭化ケイ素、タングステンなどの材料の精密スパッタリングにも適しています。この装置は、半導体やLED製造から航空宇宙および防衛産業まで、さまざまな用途に最適な、ベア基板やパターン基板を含む幅広い基板と互換性があります。8667は優秀な表面の終わりおよび低い欠陥密度および改善された予測可能性およびプロセス再現性を提供します。また、統合された安全ユニットを搭載しており、潜在的な安全上の危険を迅速に検出して対応することができます。この機械は耐久、信頼でき、有効で、ユーザーに高性能、費用効果が大きいスパッタリングツールを与えます。