中古 MRC 662 #9248464 を販売中

MRC 662は、Speion Technologies社の最新鋭の高性能スパッタリング装置です。様々な金属や誘電体材料の自動スパッタ、精密、効率的なスパッタを大型基板に提供するように設計されています。モジュラー設計により、材料、プロセス、構成において高い汎用性を実現します。662のワークチャンバーは直径400mm、高さ200mmです。20MHzの発電機によって作動する2つの静電チャックがスパッタリング中にワークを保持するために装備されています。チャンバーは、最大5。33x10^-7 Torrおよび150〜420°のプロセス温度に耐えることができます。ワークチャンバーのターンテーブル設計により、3軸で電極が動き、正確なスパッタ蒸着が可能です。MRC 662は、マグネトロンスパッタリング、直流および無線周波数スパッタリング、差動スパッタリングなど、さまざまなスパッタリングプロセスを提供します。最高の精度と再現性のために、スパッタリングシステムはデジタル厚コントローラとプロセス監視機能を備えています。また、1サイクルで最大8回のスパッタリング操作をプログラムすることができます。このユニットはまた、スパッタリングプロセス中にスパッタガスの流れを監視および制御するプログラム可能なガス供給機を備えています。自動化された無線周波数パワードメディアデトラップおよび基板クリーニングツールも含まれています。さらに、662は、前後のインターロック、緊急停止ボタン、火災警報アセットなど、多くの安全機能を提供しています。スパッタリングモデルは、近くの電子機器との干渉を排除するためにRFシールドを統合します。全体として、Speion Technologies社のMRC 662スパッタリング装置は、大面積の基板上の金属および誘電体の均一で反復可能で精密な膜を達成するための完璧なツールです。汎用性の高い自動化システムは、安全機能と利便性を念頭に設計されており、高精度スパッタリングのニーズに最適です。