中古 MRC 643 #193489 を販売中

MRC 643はMRC Ltd。が設計した多目的スパッタリング装置です。デュアルソースのマグネトロンDC電源を使用して金属や酸化物を基板に堆積させ、幅広い用途に最適です。このシステムは、最大800mm幅のターゲット領域を組み合わせた3つの独立したターゲットも提供し、最大6インチまでのウェーハと直径200mmまでの基板を受け入れることができます。643単位は高い生産性のために単一および複数のターゲットのスパッタリングを同時に可能にし、さらに多層フィルムの沈殿を可能にします。また、DC電圧、ガス制御、室温などのプログラマブルパラメータを備えた包括的なプロセスコントロールユニットを備えています。さらに、このツールは、各アプリケーションの特定の要件に対応するために、プロセスパラメータを簡単に調整することができます。安全性と信頼性の観点から、MRC 643は制御資産の組み込みや20要素のガス監視モデルなど、複数の安全機能を備えています。この機器には、トリプルディスプレイモニターと一連の警告灯が含まれており、オペレータに故障や重大な状況を警告します。643は高効率で堅牢なシステムで、幅広いスパッタリング堆積環境に適しています。高度な安全機能、複数のスパッタリングターゲット、複雑な層を堆積する能力を備え、薄膜太陽電池、生体材料コーティング、集積回路コーティングなどの用途に最適です。さらに、制御ユニットと調整可能なプロセスパラメータにより、さまざまな用途で複数の材料を簡単かつ正確に処理することができます。